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サムコ株式会社は、「薄膜技術で世界の産業科学に貢献する」ことを経営理念に掲げ、半導体等電子部品製造装置の製造及び販売を主要事業として展開しています。同社は、プラズマCVD装置、液体ソースCVD®装置、ALD装置といった薄膜形成分野の装置に加え、反応性イオンエッチング装置、ICPエッチング装置、シリコン深掘り装置、ALE装置、XeF2エッチング装置などの微細加工装置、さらにAqua Plasma®クリーナー、プラズマクリーナー、UVオゾンクリーナーといった洗浄・表面処理装置を幅広く提供しています。これらの製品は、化合物半導体を中心としたオプトエレクトロニクス分野、高周波デバイス分野、電子部品分野、MEMS、SiCパワーデバイス、半導体レーザー、LED、TSVなど多岐にわたる産業で活用されており、近年ではライフサイエンス分野への事業多角化も進めています。 同社の強みは、社員の創造性を重視し、常に独創的な薄膜技術をグローバル市場に提供する経営方針と、直販体制による顧客ニーズへの迅速な対応です。京都の研究開発センターや米国シリコンバレーのオプトフィルムス研究所、ナノ薄膜開発センターなどを拠点に、原子層レベルの制御を実現するALE装置や最先端クラスター装置「クラスターH™」、マルチチャンバープラズマCVD装置『PD-2203LC』など、革新的な技術と製品を開発しています。これまでに5,000システム以上を36カ国に納入した実績を持ち、日本国内に加え、米国、中国、韓国、シンガポール、マレーシア、インド、台湾、リヒテンシュタインなど世界各地に拠点を展開し、グローバルな事業活動を通じて産業科学の発展に貢献しています。