住友重機械マテリアルソリューションズ株式会社

住友重機械マテリアルソリューションズ株式会社は、半導体製造に不可欠なイオン注入装置とレーザシステムを専門とするソリューションカンパニーです。同社は、イオン注入装置、レーザアニール装置、レーザ加工装置の開発、製造、販売、およびサービスを一貫して手掛けています。特にイオン注入装置においては、高電流、中電流、高エネルギー、そしてこれらを統合したAll-in-One型の4機種を開発する国内唯一のメーカーであり、日本国内の全半導体デバイスメーカーへの納入実績に加え、台湾をはじめとするアジア諸国への輸出にも注力しています。製品ラインナップには、高精度かつ高品質で生産性の高い「SHX-Ⅲ(HC)」「NV-GSDⅢ-180」といった高電流イオン注入装置、広範囲なパラメータを精度良く制御する「MC3-Ⅱ(MC)」中電流イオン注入装置、多段RFリナック加速方式を採用し超高エネルギー領域での注入を可能にする「S-UHE」「SS-UHE Ⅱ」「HE3」高エネルギーイオン注入装置、さらに広範なエネルギー・ドーズ範囲をカバーし大幅な生産性向上を実現する「SAion」All-in-One型イオン注入装置があります。レーザシステムとしては、UV固体レーザアニーリング装置「SWA20/22US（H）」、Green/IR固体レーザアニーリング装置「SWA90/93GD（A）」、ナノセカンドレーザアニーリング装置「LT-3100」、マイクロセカンドレーザアニーリング装置「QA-3000」、IRファイバレーザによる溶接・切断が可能なIRレーザ加工機を提供しています。 同社の強みは、半導体プロセスの急速な技術革新に対応するスピーディーな技術開発力、卓越した品質、そして顧客への手厚いサポートです。お客様が製品プロセスを検討する段階から、装置の運用、保守、さらには中古装置の販売、改造、解体に至るまで、製品ライフサイクル全体にわたって深く寄り添い、課題解決を支援する伴走者としてのビジネスモデルを確立しています。2025年には住友重機械工業のレーザ装置事業と統合し、株式会社センスを吸収合併することで事業領域を拡大し、2026年に現在の社名に変更しました。同社は「広くとどける、深くよりそう」をモットーに、唯一無二の技術力で新たな価値を創造し、半導体製造装置とレーザ加工装置を通じて社会の豊かな生活に貢献することを目指しています。