東京エレクトロン東北株式会社

閉鎖

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閉鎖

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知的財産権

特許・実用新案72

特許

温度測定方法および温度測定装置および半導体製造装置

出願日: 2000年5月19日 · 出願番号: 2000147184

特許

処理装置

出願日: 1995年9月30日 · 出願番号: 1995276735

特許

縦型熱処理装置

出願日: 1995年9月14日 · 出願番号: 1995262151

特許

基板搬送装置

出願日: 1995年6月7日 · 出願番号: 1995140653

特許

熱処理装置および方法

出願日: 1995年6月6日 · 出願番号: 1995163011

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杉本,貴司,1975-

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木本,正次,1912-1995

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