エピクルー株式会社

エピクルー株式会社は、半導体製造装置の製造・開発・販売および保守サービスを主軸に事業を展開するリーディングカンパニーです。同社は、エピタキシャル装置の販売・開発、中古装置の輸出入、半導体製造装置用治具・部品の販売・保守、部品修理、装置サポート開発、顧客トレーニング・サポート、エピタキシャルプロセスサポート・開発といった多岐にわたるサービスを提供し、お客様のエピタキシャル生産をトータルで支援しています。具体的な製品・サービスとしては、メンテナンス後の金属汚染を低減するSilica Coating、高温炉内のウェーハ状態を確認できるWafer Pix（CCDキット）、生産機を停止せずに予備品の動作確認が可能なRotation Checker、バッチ炉の延命・拡張を実現する代替コントローラーC-Cube、プロセス中のウェーハポジションを計測するEdge Zoom、高精度なTCS/H2混合ガスを送気するTCS供給システムなどがあります。また、マグネット、ロボット、PCB、チラー、RPS Astron、ランプ、各種モジュール、スリットバルブ、エンドポイント、ペニュレーター、デュアルパイロメーターといった幅広い半導体製造装置部品の検査、修理、テストを行い、品質確保とリードタイム削減を実現しています。さらに、フォトリソグラフィ関連では、Excimer Lase Repair社と連携し、サイマーレーザー部品の販売およびサポートサービスを提供しており、ELS-5x10、ELS-6x10、ELS/NL-7x00などのモデルに対応し、部品交換、トラブル対応、データ解析、コアモジュールや消耗品の提供まで手掛けています。同社の主要顧客には、グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社、信越半導体株式会社、株式会社SUMCO、SUMCO TECHXIV株式会社、日本テキサスインスツルメンツ株式会社、ルネサスエレクトロニクス株式会社といった半導体業界の大手企業が名を連ねています。同社は、エピタキシャル工程における革新的な技術とモノづくりへの挑戦を通じて顧客の生産性向上に貢献し、ISO 9001、ISO 14001、OHSAS 18001の認証を取得するなど、品質・環境・安全衛生管理体制を確立しています。アジア市場への積極的な展開に加え、米国市場での活動も行っており、グローバルな事業拡大を目指しています。