株式会社プレストは、プラズマ応用装置の開発、製造、販売を主軸とする企業です。同社は、開発・設計から製造、そしてアフターサービスまでを一貫して手掛ける体制を確立しており、お客様の多様なニーズに応えるソリューションを提供しています。主要な製品としては、枚葉式プラズマ処理装置「WLPシリーズ」、50枚バッチ式プラズマ処理装置「WPAシリーズ」、そしてバッチ式プラズマクリーナー「PT-655S」を展開しています。「WLPシリーズ」は、RFパワーをRIE方式またはDP方式で印加することで、6~8インチのSiやPoly-Siなどのエッチング、ポリイミド系樹脂のエッチング、フォトレジストのアッシングといった多種多様なプロセスに対応します。低廉な価格でありながら、シーケンサによる各種エッチング条件管理が可能な高性能かつコストパフォーマンスに優れた装置です。「WPAシリーズ」は、同軸バレル構造を持つ50枚バッチ式のフルオートマチックドライアッシング処理装置で、シリコンウェハー上に形成されたフォトレジスト薄膜の低ダメージでの灰化除去(アッシング)や表面改質に利用されます。こちらも高性能とコストパフォーマンスを両立しています。「PT-655S」は、平行平板のバッチ式プラズマクリーナーであり、コントロールパネル操作でDPモードとRIEモードを切り替え可能です。BGAなどの実装プロセスにおけるダイアタッチの接着性改善や封止性改善、プラスチックパッケージやハイブリッドICの表面改質、フォトレジストアッシング、繊維や高分子材料の表面改質など、幅広い応用例に対応します。同社はこれらの自社製品の販売に加え、お客様の具体的な仕様に応じたカスタム製品の開発も行っています。また、既存のアッシング装置に対する各種改造、メンテナンス、据付・立上げのサポート業務も提供し、顧客の装置運用を包括的に支援しています。さらに、プラズマ応用装置に留まらず、各種産業機械の開発・製造・販売も手掛けており、設計から加工、組立、装置立上げまで、各部門のエキスパートエンジニアが高品位かつ短納期で製品を提供しています。開発・製造委託業務として、機械設計、電気設計、プロセス設計、電磁回路設計、組立配線、機械加工、ハーネス加工、各種治工具類の設計・製作も請け負っており、半導体分野をはじめとする幅広い産業分野において、プラズマ技術を核とした多角的な事業を展開しています。
従業員数(被保険者)
9人 · 2026年5月
30期分(2023/12〜2026/05)
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