知的財産権
特許・実用新案4
特許
イオンミリング装置
出願日: · 出願番号: 2008291984
特許
自動洗浄乾燥装置
出願日: · 出願番号: 2007331038
特許
高周波イオン源
出願日: · 出願番号: 2006315637
特許
プラズマ源,それを用いた高周波イオン源,負イオン源,イオンビーム処理装置,核融合用中性粒子ビーム入射装置
出願日: · 出願番号: 2006315619
イオンミリング装置
出願日: · 出願番号: 2008291984
自動洗浄乾燥装置
出願日: · 出願番号: 2007331038
高周波イオン源
出願日: · 出願番号: 2006315637
プラズマ源,それを用いた高周波イオン源,負イオン源,イオンビーム処理装置,核融合用中性粒子ビーム入射装置
出願日: · 出願番号: 2006315619