有限会社真空実験室

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知的財産権

商標2特許・実用新案16

特許

非蒸発型ゲッター粉末材料、非蒸発型ゲッター粉末材料の製造方法、非蒸発型ゲッター及び非蒸発型ゲッターポンプ

出願日: 2016年12月13日 · 出願番号: 2016241452

特許

非蒸発型ゲッター及び非蒸発型ゲッターポンプ

出願日: 2014年8月8日 · 出願番号: 2014162078

特許

ゲッター部材収納具、ゲッター装置及びゲッターポンプ

出願日: 2014年1月24日 · 出願番号: 2014011506

特許

逆マグネトロン型冷陰極電離真空装置

出願日: 2013年4月18日 · 出願番号: 2013087603

特許

非蒸発型ゲッターポンプ

出願日: 2011年9月8日 · 出願番号: 2011195658

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