知的財産権
商標1特許・実用新案9
特許
基板搬送装置
出願日: · 出願番号: 2023184563
特許
エアナイフ、基板処理装置、および、エアナイフ用アタッチメント
出願日: · 出願番号: 2023184562
特許
基板搬送装置およびこの基板搬送装置を備えた基板処理装置
出願日: · 出願番号: 2018198304
特許
基板搬送装置およびこの基板搬送装置を備えた基板処理装置
出願日: · 出願番号: 2017189672
特許
カプセル用バンドシール機
出願日: · 出願番号: 2015036373
