株式会社オプティマは、半導体ウェーハ検査装置および測定装置の開発、製造、販売を主要事業とする企業です。同社は、半導体・ハイテク業界のグローバルニッチマーケットにおいて、独自の検査測定技術とソリューションを提供することで、顧客の品質向上とコスト低減に貢献しています。常に「クライアント第一主義」を掲げ、世界一のソリューションを目指し、技術革新への挑戦を続けています。 具体的な製品としては、Siウェーハ製造・デバイス製造工程におけるウェーハエッジ部の欠陥検出と分類、寸法計測を行う「ウェーハエッジ自動欠陥検査装置 RXW-1200」を提供しています。また、デバイスプロセスでウェーハ裏面に発生する欠陥・異物を高感度に検出し、微小三次元形状計測が可能な「デバイス用裏面検査装置 BMW-1200」も手掛けています。さらに、Siウェーハ製造工程でエッジ・表裏面に発生する様々な欠陥をトータルに検査する「エッジ・表裏面複合検査装置 RXM-1200(およびAXMシリーズ)」、Si単結晶引上げ工程で発生するウェーハ内部・表裏面のピンホール欠陥を赤外光で検出する「ピンホール検査装置 RXP-1200」など、多岐にわたる検査ニーズに対応する製品群を展開しています。 これらの装置は、端部面取り、平面研削、平面研磨、洗浄、乾燥、PW最終検査、エピタキシャル成長、SOI、成膜、リソグラフィ、CMP、エッチング、エッジトリミング、貼り合わせ、シニング、単結晶引上げ、ブロック切断といった半導体製造の各工程で活用され、高精度な検査を通じて製品の信頼性向上に寄与しています。同社は、常に世界の技術とマーケットを意識し、顧客に最適な技術とソリューションを提供することを使命としています。なお、MOシリーズの結晶欠陥検査装置およびLSTDスキャナーは、2018年9月1日よりグループ会社のシステム精工株式会社に事業移管されています。
従業員数(被保険者)
37人 · 2026年5月
30期分(2023/12〜2026/05)
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