知的財産権
特許・実用新案293
特許
半導体装置
出願日: · 出願番号: 2013212147
特許
モニタリング方法、プラズマモニタリング方法、モニタリングシステム及びプラズマモニタリングシステム
出願日: · 出願番号: 2013189785
特許
半導体装置の製造方法
出願日: · 出願番号: 2012269654
特許
半導体装置
出願日: · 出願番号: 2011014591
特許
半導体記憶装置およびその制御方法
出願日: · 出願番号: 2010270948
半導体装置
出願日: · 出願番号: 2013212147
モニタリング方法、プラズマモニタリング方法、モニタリングシステム及びプラズマモニタリングシステム
出願日: · 出願番号: 2013189785
半導体装置の製造方法
出願日: · 出願番号: 2012269654
半導体装置
出願日: · 出願番号: 2011014591
半導体記憶装置およびその制御方法
出願日: · 出願番号: 2010270948