代表
KatsunariArakawa
確認日: 2026年4月15日
ＰＨＴ株式会社は、半導体および液晶製造ラインにおける搬送・洗浄プロセスの自動化を可能にする装置の設計、製造、販売を手掛ける企業です。同社の主要事業は、半導体搬送システム事業と半導体洗浄装置事業の二本柱で構成されています。半導体搬送システム事業では、半導体用ウェーハ搬送ロボットシステム、液晶用ガラス基板搬送ロボットシステム、レーザ応用システムおよび関連装置の開発・設計・製造・販売を行っています。特に、4軸・3軸クリーンロボット、ウェーハカセットチェンジャー、ウェーハ搬送装置（200mm、300mm対応）、EFEM・ソータなどを提供し、高精度かつ高速な搬送を実現しています。 半導体洗浄装置事業では、ウェーハ製造工程における剥離・洗浄プロセスの自動化を実現する装置を提供しており、自動剥離装置や自動洗浄装置（枚葉式・バッチ式）の開発・設計・製造・販売を行っています。ワイヤーソー後洗浄、ラップ後洗浄、アルカリエッチング洗浄、熱処理前後洗浄、研磨後洗浄、最終洗浄（FINAL洗浄）など、多岐にわたるウェーハ洗浄プロセスに対応しています。また、次世代半導体材料であるSiC（炭化ケイ素）やGaN（窒化ガリウム）パワー半導体向けの搬送・洗浄ソリューションも提供し、純水ブラシ洗浄、RCA洗浄、HF洗浄、SiCウェーハ向けのオゾン水を用いた酸化処理など、最先端の洗浄技術を駆使しています。 同社は、半導体・液晶設備メーカー、半導体・液晶デバイスメーカー、自動車関連メーカー、医療関連メーカーを主要顧客とし、生産ラインの最適化と省力化に貢献しています。独自のロボット技術を中核に、高精度かつ高信頼性のソリューションをグローバルに展開。東京本社を中心に、日本とアメリカに製造拠点を持ち、アジア（日本、台湾、中国大陸、韓国）および北米（アメリカ）に広がる販売・サービスネットワークを通じて、世界市場のニーズに迅速に対応しています。特にウェーハ自動剥離装置では世界トップクラスのシェアを誇り、20年以上にわたり稼働し続ける装置があるなど、その高い信頼性と技術力が強みです。今後は、ハードウェアだけでなく、ソフトウェアやシステムインテグレーションを含む高付加価値領域への事業拡大も目指し、持続可能な社会の実現に貢献しています。
従業員数（被保険者）
8人 · 2026年5月
30期分（2023/12〜2026/05）
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