製造業（半導体・電子部品）法人向け（製造業）
- 法人番号
- 6013102003673
- 所在地
- 東京都 西多摩郡瑞穂町 箱根ケ崎東松原３６番地７
- 設立
- 従業員
- 10名
- 企業スコア
- 52.1 / 100.0
有限会社NAS技研は、2002年の設立以来、半導体産業に不可欠なシリコンウェーハの品質検査を支える表面汚染回収装置および関連機器の専門メーカーです。同社は、シリコンウェーハの表面・側面に付着する微量の金属汚染物質を回収する装置、バルクエッチング装置、および関連機器の製造販売を主要事業としています。主力製品である「簡易型微量金属汚染物質回収装置（SCシリーズ）」は、親水状態のウェーハやシリコン以外の材質、表面が荒れたウェーハからの汚染回収を可能にし、パソコン接続による多彩な回収パターン作成や自動薬液供給・回収、保持具の自動洗浄（SC-9200）といった機能を備えています。また、「微量金属汚染物質自動回収装置（NACシリーズ）」は、キャリアケース内のシリコンウェーハに対し、気相分解から汚染回収、サンプル希釈までを全自動で行い、大量のウェーハ分析に貢献します。NAC-304はバルクエッチング機能を、NAC-316はICP-MS自動接続・検量線自動調整機能も搭載し、トータルでの元素分析ニーズに応えます。さらに、「バルクエッチング装置（BEM-310）」はオゾンとHFを用いたガスエッチングにより、高い平坦度を保ちつつウェーハ内部の汚染物質を回収します。その他、ウェーハ表面を疎水状態にする「気相分解用VPDBOX」や、クリーンな作業空間を提供する「クリーンドラフト（NCDシリーズ）」、特殊なPTFE製ピンセットなども提供しています。同社の強みは、シリコンウェーハ側面の汚染回収技術「ベベル回収」における国際特許、親水面ウェーハ回収における国内特許、そして10%以内の平坦度を保証する優れたバルクエッチング機能といった世界トップクラスの技術力です。主要な取引先は国内の主要半導体メーカー、デバイスメーカー、分析メーカーであり、国内外問わず48時間以内の迅速な修理対応とメンテナンス期限を設けない万全のアフターサービス体制で、顧客の長期的な装置利用をサポートしています。
従業員数（被保険者）
10人 · 2026年5月
30期分（2023/12〜2026/05）
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