| 日付 | 案件名 | 省庁 | 金額 |
|---|---|---|---|
令和５年度中小企業経営支援等対策費補助金（戦略的基盤技術高度化支援事業（低コスト・高性能なデバイスを実現する窒化アルミニウムテンプレートの開発）） 補助金 | 経済産業省 | 950万円 | |
令和４年度中小企業経営支援等対策費補助金（戦略的基盤技術高度化支援事業（低コスト・高性能なデバイスを実現する窒化アルミニウムテンプレートの開発）） 補助金 | 経済産業省 | 1,700万円 | |
令和３年度中小企業経営支援等対策費補助金（戦略的基盤技術高度化支援事業（低コスト・高性能なデバイスを実現する窒化アルミニウムテンプレートの開発）） 補助金 | 経済産業省 | 3,900万円 |
