エーサット株式会社

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知的財産権

商標3特許・実用新案6

特許

プラズマエッチング装置用の電極

出願日: 2023年6月22日 · 出願番号: 2023102249

特許

プラズマエッチング装置用の電極

出願日: 2021年11月25日 · 出願番号: 2021190711

特許

プラズマエッチング装置用の電極に設けられたガス導入孔の測定方法、電極の再生方法およびプラズマエッチング装置

出願日: 2021年6月7日 · 出願番号: 2021095063

商標

ＡＷＡＦＵ

出願日: 2018年9月12日 · 出願番号: 2018114334

商標

ＡＷＡＦＵ

出願日: 2018年2月21日 · 出願番号: 2018021042

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