IT・ソフトウェア（パッケージソフトウェア）法人向け（製造業）
- 法人番号
- 1021001030223
- 所在地
- 神奈川県 藤沢市 鵠沼海岸３丁目３番４号
- 設立
- 従業員
- 1名
- 企業スコア
- 36.7 / 100.0
株式会社アテナシスは、半導体製造装置に関わる実験や計測の経験、装置・反応炉の熱解析、CVD・プラズマ・エッチング等のシミュレーションで培ったノウハウを活かし、お客様の成果創出を支援するCAE（Computer Aided Engineering）に関するサポートおよびコンサルティングサービスを提供しています。同社は、プラズマプロセスで必要となる輸送係数や反応レート定数を算出する自社開発ソフトウェア「BOSPROM」を提供しており、これは北海道大学の菅原先生が開発したプロパゲータ法をベースに、複数のガス種に対応し、モンテカルロ法と同等の高精度かつ短時間での計算を可能にします。計算結果はCFD-ACE+やCOMSOLなどの汎用ソフトウェアへの取り込みも容易で、シミュレーション精度の向上に貢献します。 また、英国Quantemol社のプラズマシミュレーションソフトウェア「Q-VT（Quantemol-Virtual Tool）」のライセンス販売とサポートも行っています。Q-VTはM. J. Kushner教授が開発したHPEM（Hybrid Plasma Equipment Model）をコアとし、使いやすいGUIを通じてRF2周波パルス変調CCPシミュレーションやPE-ALD用容量結合プラズマシミュレーションなどの複雑なプラズマプロセスを解析できます。さらに、電子衝突断面積データ推算ソフトウェア「Q-EC」や、反応モデルデータベース「Q-DB」も取り扱っており、Q-DBのサブスクリプション購入者には0次元のGlobal model（QGM）も提供しています。 同社の技術支援・サポートには、CVDやプラズマプロセスのシミュレーションに必要な反応モデル・物性値の検討・構築、電子スウォームパラメータの計算、簡易ツールの紹介、反応炉シミュレーションのアプローチに関するTips提供などが含まれます。これらのサービスと製品を通じて、半導体製造やプラズマ応用技術の研究開発を行う企業や研究機関に対し、高度なシミュレーション技術と専門知識を提供し、プロセスの最適化と開発期間短縮に貢献しています。
従業員数（被保険者）
1人 · 2026年5月
30期分（2023/12〜2026/05）
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