ＱｕｒｅＤＡ　Ｒｅｓｅａｒｃｈ株式会社

QureDA Research株式会社は、関西学院大学発の革新技術「Dynamic AGE-ing®」を核に、SiCウエハーの品質改善と評価技術の開発・提供を行う企業です。同社は、SiCウエハー製造工程で生じる結晶欠陥の無害化や加工歪層の除去を可能にする非接触型ナノ制御プロセス技術「Dynamic AGE-ing®」の独占使用権を有します。この技術は、DA-Etchingによる加工歪層除去、BPD/SFフリー成長層形成のDA-Growth、CMP相当の表面平坦化を実現するDA-Annealingの三機能で構成されます。 さらに同社は、独自開発した光散乱法を用いた非破壊でのウエハー全面加工歪可視化装置や、結晶成長・ウエハー加工両工程の品質評価技術を提供し、SiCウエハー品質課題の原因究明と解決策提案を行います。これらの技術を通じて、SiCパワー半導体の低損失・高周波駆動・高温動作特性を最大限に引き出し、電動車（EV）、AI向けサーバー電源、太陽光発電システムなど、脱炭素社会に不可欠な次世代パワーデバイス市場の課題解決に貢献しています。 同社のビジネスモデルは、関西学院大学の研究開発力と豊田通商株式会社のバリューチェーン創出力を融合させることに強みがあります。実績として、トヨタ自動車とのSiCウエハー品質・歩留まり向上技術開発支援、レーザーテックとの戦略的協業による高次元品質安定性を実現する検査技術・システムプラットフォーム構築が挙げられます。これにより、高品質SiCウエハーの安定供給と生産コスト低減を目指し、パートナー企業の事業拡大、エネルギー高効率化、カーボンニュートラル実現に貢献しています。