| 日付 | 案件名 | 省庁 | 金額 |
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令和２年度中小企業経営支援等対策費補助金（戦略的基盤技術高度化支援事業）（インクジェット技術を利用した次世代フラットパネルディスプレイ用フォトレジスト塗布装置及び専用フォトレジストの研究開発） 補助金 | 経済産業省 | 912万円 | |
平成３１年度中小企業経営支援等対策費補助金（戦略的基盤技術高度化支援事業）（インクジェット技術を利用した次世代フラットパネルディスプレイ用フォトレジスト塗布装置及び専用フォトレジストの研究開発） 補助金 | 経済産業省 | 1,457万円 | |
平成３１年度中小企業経営支援等対策費補助金（戦略的基盤技術高度化支援事業）（インクジェット技術を利用した次世代フラットパネルディスプレイ用フォトレジスト塗布装置及び専用フォトレジストの研究開発） 補助金 | 経済産業省 | — |
