代表
松本宗之
確認日: 2026年4月18日
株式会社天谷製作所は、半導体・太陽電池等の製造装置の製造、販売、およびアフターサービスを主要事業とする専門企業です。同社は1970年の創業以来、常圧CVD（Chemical Vapor Deposition）装置の開発・販売を通じて、半導体製造および研究開発プロセスの品質向上と生産性向上に貢献してきました。2010年には太陽電池分野への技術応用を拡大し、さらに2019年には株式会社トムコから装置事業を譲受することで、フォトマスク洗浄装置の製造・販売事業も継承しました。 同社の主要製品である常圧CVD装置は、半導体や太陽電池製造など多岐にわたる用途に対応し、少量生産から大量生産まで柔軟に対応可能です。SiO2、BPSG、BSG、PSGといった多様な膜種を、200℃から500℃の幅広い温度領域で成膜できる強みを持っています。特にSiCトレーの採用により重金属汚染を防止し、高品質な成膜を実現しています。枚葉式、連続式、バッチ式、太陽電池量産用、ガラス基板成膜用など、顧客のニーズに応じた幅広いラインナップを提供し、さらに顧客の要望に合わせたオーダーメード装置の設計・製造も一台から手掛けています。 また、フォトマスク洗浄装置「WULFシリーズ」は、LSIの高性能化に伴う高精細・高精度なフォトマスク／レチクルに対応したスピンタイプ洗浄装置です。機能水（オゾン水、アンモニア添加水素水）を使用し、洗浄面への高速拡散、異物・反応生成物の急速排除、ウォーターマークレス乾燥を実現。RCA洗浄液に代わる環境負荷の低い洗浄方法を採用し、完全室温洗浄やMoSiハーフトーンマスクのエッチング防止など、高い洗浄性能と環境配慮を両立しています。 同社は「品質と安全」を第一義とし、「チャレンジ精神」と「創意工夫」をモットーに新技術開発に挑戦し続けており、常圧CVDおよびフォトマスク洗浄装置の分野で「オンリーワン企業」を目指しています。顧客に対しては、経験豊富なエンジニアによる保守サポート、技術サポート（電話サポート、現地修理、性能向上、パーツ販売など）を提供し、装置の安定稼働と性能維持を強力に支援しています。これらの事業を通じて、同社は豊かな社会の構築に貢献しています。
従業員数（被保険者）
86人 · 2026年5月
30期分（2023/12〜2026/05）
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