エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社は、半導体・液晶などのエレクトロニクス分野を中心に、各種ガスや特殊ケミカルの供給・処理に関するトータルシステムソリューションを提供する企業です。同社は、各種ガス超高純度精製装置や排ガス処理装置の開発、製造、販売を手掛けるほか、工業計測機器として圧力センサ、流量センサ、水位計などの輸入・販売も行っています。特に、日本国内で同社のみが扱う優れた計測製品を多数取り揃え、時代のニーズを先取りしています。 エレクトロニクス分野においては、半導体製造プロセスに不可欠な特殊ケミカル供給装置の開発、製造、販売に強みを持っています。グローバルで標準的に採用されるMerck社製の高純度ケミカル供給装置（ChemGuardシリーズ）の輸入販売に加え、複雑・多様化する各種特殊材料をプロセス装置へ安全かつ安定的に供給する最適なシステム提案が可能です。また、半導体製造プロセスに欠かせないCMPスラリー供給装置や、シリンダーキャビネット、VMBといった半導体関連ガス材料供給装置、さらにはSiウエハや電子回路基板に最適なドライアイススノー洗浄装置、大気圧プラズマ表面処理装置などのアプリケーションテクノロジーを用いた装置の提案、製造販売も行い、顧客の生産性向上、コストダウン、環境負荷低減に貢献しています。 さらに、PSA式窒素ガス発生装置の開発から製造、販売、保守までを一貫して提供しており、独自の吸着材（CMS）「ベルパール」他を採用することで、高収率かつ省スペースの装置を実現しています。2023年にはエア・ウォーターグループ内の関連事業との統合により、エレクトロニクス関連機器装置事業およびガスアプリケーション機器製作事業を強化し、高純度バルクガスや特殊材料ガスの供給システム開発・製造販売も手掛けることで、半導体産業におけるトータルソリューション提供能力を一層高めています。顧客の多様な要望に応じたカスタマイズも可能であり、幅広い技術と製品で産業界を支えています。