株式会社PARAMは、超高速電子ビーム描画技術と微細加工技術を核とした要素技術の開発・提供を行う企業です。同社は、電子ビーム描画・検査・SEM装置において、描画・観察中に発生する炭化水素膜（コンタミ）の付着を防止し、クリーンな環境を維持するためのオゾン供給機を提供しています。また、排出されるオゾンを分解し、無害な酸素ガスとして排出するオゾン除害機も手掛け、オゾン濃度を0.1ppm以下に抑えることで環境負荷低減に貢献しています。主要事業の一つである電子ビームコラムの設計・製造・受託では、大電流から微小スポットまで、顧客の多様な要望に応じた最適化された電子ビームコラムの設計・製造に精通しており、豊富な技術力で対応します。さらに、電子ビームの走査、位置検出、安定化、各種制御回路技術の設計・製造、および制御ソフトウェア開発業務にも深く精通しており、電子ビームシステム全体の包括的なソリューションを提供します。同社の強みは、永久磁石を用いた小型コラムを100本以上束ね、1本のコラム内に5nm以下のビームを正方格子状に1600本以上並べ、各ビームが独立して点滅するマルチビームマルチコラムシステムといった革新的な技術開発力にあります。また、1.8eV～2.1eVの低仕事関数を実現し、高輝度または高寿命を可能にする高輝度電子銃や、主磁界に永久磁石を用いた小型レンズにより、コラム径を微細径から20mm程度に抑制し、300mmウェハ上に最大170本のコラムを配置できる技術も提供しています。これらの高度な技術は、半導体製造、ナノテクノロジー、精密計測などの分野における研究機関や企業を主な顧客とし、次世代の微細加工技術の発展に寄与しています。
従業員数（被保険者）
5人 · 2026年5月
30期分（2023/12〜2026/05）
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