つばさ真空理研株式会社
35.8神奈川県横浜市港北区に所在する、2019年設立・従業員(被保険者)10名の企業。
- 所在地
- 〒222-0024 神奈川県 横浜市港北区 篠原台町36番34号
- 法人番号
- 2020001130115
神奈川県横浜市港北区に所在する、2019年設立・従業員(被保険者)10名の企業。
つばさ真空理研株式会社は特許12件を保有しています。特許は表面技術・コーティングなどの分野が中心です。
特許
12件
登録 4
IAD成膜装置登録2026・請求項3項
立体的な基材の各面に緻密な膜を形成するイオンアシスト成膜装置
イオンアシスト蒸着法、半導体製造装置部材および半導体製造装置登録2025・請求項4項
本発明ではエージング時間を短縮するために初めから高周波導入窓の表面にYOxFyを成膜してエージング後の組成にしておくことでエージング時間を短縮すること
イットリウム質保護膜およびその製造方法ならびに部材登録2022・請求項14項
耐プラズマ性に優れるイットリウム質保護膜