代表
五味研策
確認日: 2026年4月15日
株式会社日本生産技術研究所は、1969年の設立以来、半導体製造装置、太陽電池製造装置、LED製造装置の開発・製造・販売を主要事業として展開しています。同社は特にプラズマCVDシステム（PECVD）の専門メーカーとして、高度な膜質が不可欠な特殊デバイス向けに貢献してきました。具体的には、高輝度LED、深紫外LED、ヘッドライト用LED、パワーデバイス、化合物センサー、車載用電子部品といった分野で、高品質な薄膜形成技術を提供しています。同社のPECVD装置は、複雑な構造を持つデバイスや低温プロセスが必要な特殊基板、低ストレスで緻密な成膜といった高度なプロセスに対応し、優れた再現性と幅広いプロセスウィンドウを実現することで、他社では困難なプロセスにも適用可能です。長年の経験で培われた成膜プロセスに関するノウハウは、顧客から高く評価されています。また、地球環境保全への貢献も重視しており、太陽光発電分野や低消費電力で期待されるLEDの製造分野にも積極的に取り組んでいます。製品ラインアップとしては、R&D、量産試作、量産ライン向けのVDS-5800SNCシリーズ（〜150mm/〜200mmウェハ対応）や、R&D・大学等研究機関向けのVDS-5700（〜150mmウェハ対応）などがあり、SiN、SiO2、SiON、a-Si、TEOS、PSG、BPSGといった多様な膜種に対応しています。さらに、顧客の具体的なニーズに応じたカスタム品の製作も手掛けており、装置導入の検討から、使用中の性能向上（スループット向上、ウェハサイズ変更、高周波電源周波数変更、プロセスガスライン追加など）、定期点検、オーバーホールに至るまで、包括的な技術サポートを提供しています。手動工程の自動化検討など、CVD装置以外の工程についても協力体制を築き、顧客との密なコミュニケーションを通じて最適なソリューションを提案するビジネスモデルを確立しています。
従業員数（被保険者）
5人 · 2026年5月
30期分（2023/12〜2026/05）
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