株式会社日本生産技術研究所

製造業（半導体・電子部品）法人向け（製造業）

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知的財産権

商標2特許・実用新案11

特許

インライン型プラズマＣＶＤ装置及び方法

出願日: 2012年3月7日 · 出願番号: 2012050778

特許

インライン型プラズマＣＶＤ装置

出願日: 2012年3月7日 · 出願番号: 2012050775

特許

インライン型プラズマＣＶＤ装置

出願日: 2012年3月7日 · 出願番号: 2012050734

特許

インライン型プラズマＣＶＤ装置

出願日: 2012年3月7日 · 出願番号: 2012050730

特許

インライン式プラズマＣＶＤ法及びその装置

出願日: 2009年1月8日 · 出願番号: 2009002902

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