日本サーマルエンジニアリング株式会社

真空雰囲気中の浮遊物分析システムと浮遊物導入装置登録2019・請求項2項

半導体製造装置の真空雰囲気から浮遊物を外部に取りだして分析する。

柱状母材への金属皮膜の形成方法登録2018・請求項3項

先端隅に角部を有する柱状母材に再溶融処理を行う場合において、再溶融熱の部分的な集中や不足を解消し、溶融エネルギーの過多付与部分や過少付与部分の発生を抑制することで、再溶融後の皮膜厚さや組成の緻密度の偏りを解消し得る金属皮膜の形成方法

質量分析用試料スプレー装置登録2011・請求項7項

被験試料を所定温度で噴霧してイオン化させる質量分析用試料スプレー装置において、スプレー用ガスの温度損失を低減させることと設計の自由度を高めることとを両立させること、スプレー用ガスを設定温度に加温調節する電熱ヒータの消費電力低減と安定かつ高精度な温度制御を可能にすること、装置全体のサイズ規模を小型化すること、保守性を高めること、これらを互いに背反することなく、達成する。