株式会社ケミカルアートテクノロジー

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神奈川県厚木市に所在する、1991年設立・従業員30名の製造業（半導体・電子部品）企業。

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知的財産権

商標1特許・実用新案16

特許

基板処理装置

出願日: 2018年3月20日 · 出願番号: 2018051930

特許

基板処理装置

出願日: 2010年7月23日 · 出願番号: 2010166288

特許

エッチング液再生システム

出願日: 2009年5月1日 · 出願番号: 2009112286

特許

エッチング液再生装置

出願日: 2008年8月19日 · 出願番号: 2008210624

特許

液体中の溶存無機物質濃度測定方法及び測定装置、並びに、当該溶存無機物質濃度測定装置を備えたエッチング液再生システム

出願日: 2007年8月30日 · 出願番号: 2007224875

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