ウエハ支持デバイス及びその製造方法
出願日: · 出願番号: 2012153698
金属酸化物のハードマスクの形成方法
出願日: · 出願番号: 2011284831
高周波電力接続用コンタクトピン
出願日: · 出願番号: 2011002835
PECVDによってSi-N結合を有するコンフォーマルな誘電体膜を形成する方法
出願日: · 出願番号: 2010193285
PEALDによってSi-N結合を有するストレス調節された誘電体膜を形成する方法
出願日: · 出願番号: 2010153754