アクアサイエンス株式会社

液滴噴射流生成装置及び液滴噴射流生成方法登録2015・請求項8項

従来よりも液滴を微細に生成することによって対象物を傷めることなく、かつ、高い洗浄能力を有する装置及び方法を提供すること

レジスト除去方法、半導体製造方法、及びレジスト除去装置登録2013・請求項16項

薬液を使用せず、環境に与える影響の小さいレジスト除去方法及び装置において、表面が変質したレジストの基板からの除去を、実用的、合理的に実現する。

レジスト膜除去装置及びレジスト膜除去方法登録2012・請求項2項

レジストの水による物性変化（膨潤性等）を利用して、レジスト膜を容易且つ確実に剥離する。これにより、資源・エネルギー多消費型技術からの脱却、すなわちレジストの除去にエネルギーや化学溶剤に依存しない環境共生型技術を実現させる。