ローツェイアス株式会社

ローツェイアス株式会社は、ICP-MS（誘導結合プラズマ質量分析装置）を用いた微量元素分析に特化したソリューションを提供する企業です。長年の経験に裏打ちされた確かな技術力を基盤に、半導体産業をはじめとする幅広い分野において、高精度な分析ニーズに応える製品とサービスを展開しています。同社の主要事業は、ICP-OES/ICP-MS部品および周辺機器の製造・販売、金属分析の前処理装置の製造・販売、そして分析手法および装置取り扱いに関するコンサルティングです。 具体的な製品としては、Siウェーハ中の金属不純物の全自動分析を実現する画期的な前処理装置「Expert™ 全自動気相分解（VPD）装置」があり、世界中の半導体関連工場で100台以上が稼働しています。また、レーザーアブレーションICP-MS法の定量性と小型密閉系セルの問題を解決した「LAGM™ レーザーアブレーション-GED-MSAGシステム」は、ウェーハの直接分析や優れた定量性を可能にします。さらに、半導体製造ラインの薬液中の金属不純物をサブpptレベルで24時間連続監視する「CSI オンラインモニタリングシステム」や、ICP-MS分析における標準液のオンライン自動添加を可能にする「ASAS II オンライン自動標準液添加装置」を提供し、分析作業の自動化と効率化を強力にサポートしています。超高純度薬液の希釈を自動化し、ICP-MS分析を全自動で行う「ASDM™ 自動希釈機能付きオートサンプラー」も提供。気体中の金属微粒子を直接ICP-MSに導入・分析できる「GED 気体中金属微粒子導入システム」は、環境分析や半導体分析に幅広く適用され、従来の捕集法に比べ約1,000倍の高感度分析を実現します。これらの製品は、顧客の多様な要望に合わせてカスタムメイドで提供され、大手分析装置メーカーと顧客のインターフェースとして、最適な分析ソリューションを具現化する技術集団としての役割を担っています。同社は、小規模ながらも唯一無二の製品を供給し続ける“小さな巨人”を目指し、常に技術革新と顧客満足を追求しています。