ジャパン・イー・エム株式会社

微小球体整列方法およびその装置登録2009・請求項10項

湿式法において用いられる揮発性の高い液体 キャリアの減損が激しく、球体保持パレットを液体キャ リアに浸漬した状態でこれをハンドリングすることは相 当な困難を伴う。

微小球体の液体による整列方法、バンプ電極形成方法、および微小球体整列装置登録2007・請求項3項

半導体装置のパッド形成穴に微小球体を効率 よく且つ多少の振動や衝撃では飛び出さないように収容 し、また極力バンプ電極形成時の工程数を削減すること ができる微小球体の液体による整列方法、バンプ電極形 成方法、微小球体整列装置、および導電性液体を提供す る。