株式会社平間理化研究所
28.3閉鎖神奈川県川崎市宮前区に所在する企業。
- 所在地
- 〒216-0042 神奈川県 川崎市宮前区 南野川１丁目３２番１号
- 法人番号
- 3020001070013
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神奈川県川崎市宮前区に所在する企業。
株式会社平間理化研究所は特許42件・商標4件を保有しています。商標は機械・エンジン（第7類）、特許は半導体などの分野が中心です。
特許
42件
登録 27
商標
4件
登録 3
登録・現存
0件
審査中
0件
満了
0件
消滅
27件
拒絶・取下げ
15件
平間理化研究所
機械・エンジン・電子機器・ソフトウェア・建設・修理・工事 · 登録2016
ＨＲＫ
機械・エンジン · 登録2015
ＨＲＫ∞株式会社平間理化研究所
機械・エンジン · 登録2015
現像液の二酸化炭素濃度表示装置、及び現像液管理装置登録2020・請求項15項
アルカリ性を示す現像液に吸収された二酸化炭素の濃度を測定する二酸化炭素濃度表示装置、及び、アルカリ性を示す現像液の吸収二酸化炭素の濃度を管理する現像液管理装置、
現像液の濃度監視装置、及び現像液管理装置登録2020・請求項9項
アルカリ性を示す現像液のアルカリ成分、溶解したフォトレジスト、吸収された二酸化炭素等の各成分の濃度を、現像液の特性値から精度よく算出する濃度監視装置、及び現像液の現像性能を最適な状態に維持及び管理する現像液管理装置、
データ基準日: 2026年7月29日確認分
産業分野: 電気工学（38）・計測機器（36）・化学（14）・機械工学（1）
現像液の成分濃度測定方法及び装置、並びに、現像液管理方法及び装置登録2020・請求項10項
アルカリ性を示す現像液のアルカリ成分、溶解したフォトレジスト、吸収された二酸化炭素等の各成分の濃度を、現像液の特性値から精度よく算出する成分濃度測定方法及び装置、並びに、現像液の現像性能を最適な状態に維持及び管理する管理方法及び装置、
現像液の成分濃度測定装置、成分濃度測定方法、現像液管理装置、及び現像液管理方法登録2020・請求項7項
アルカリ性を示す現像液に吸収された二酸化炭素の濃度を測定する現像液の成分濃度測定装置、及び、アルカリ性を示す現像液の二酸化炭素の濃度を管理する現像液管理装置、
現像液管理装置登録2020・請求項11項
所望の現像性能を維持でき、所望の線幅及び残膜厚を維持できる現像処理を実現できる現像液管理装置
