株式会社スーパーシリコン研究所

ワイヤソーの制御方法及びワイヤソー登録2008・請求項9項

ワークを精度良く切断することのできるワイヤ ソーの制御方法及びワイヤソー

単結晶成長装置及び単結晶成長方法登録2007・請求項2項

ＣＺ法で形成される単結晶の径拡大部の下部 を把持する構成において、径拡大部が高温であり、４０ ０ｋｇ程度の大重量、大径の単結晶棒であっても変形、 破断を生じさせず、無転位でかつ安定した状態で成長さ せ引き上げる。

単結晶製造方法及び単結晶引き上げ装置登録2007・請求項2項

結晶荷重をダッシュネック支持から結晶支持 部材に移行して引き上げる場合に結晶支持部材が下方に 伸長したり、変形してもダッシュネックが破断すること を防止して結晶の引き上げ重量を増加する。