オメガセミコン電子株式会社
30.0東京都豊島区に所在する、従業員（被保険者）0名の企業。
- 所在地
- 〒170-0003 東京都 豊島区 駒込４丁目１５番１７号
- 法人番号
- 6011401001258
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東京都豊島区に所在する、従業員（被保険者）0名の企業。
オメガセミコン電子株式会社は特許12件・意匠3件を保有しています。特許は半導体などの分野が中心です。
特許
12件
登録 9
意匠
3件
登録 3
過熱水蒸気供給装置及び基板処理装置登録2014・請求項6項
水蒸気中の不純物を低減することで基板上の微粒子等を確実に除去すること。
ベーパー乾燥装置登録2011・請求項2項
瞬時にベーパーを生成して基板上に供給して基板を乾燥でき、しかも腐食されることなく、クリーンな洗浄及び乾燥ができるベーパー乾燥装置
基板処理装置登録2010・請求項9項
半導体ウェーハ等の基板にパーティクルやウ ォータマーク等の汚染物質が付着することを抑制できる 基板処理装置
ベーパ乾燥装置登録2007・請求項4項
被乾燥物の表面にしみ（ウォータマーク）が生 じることを防止するベーパ乾燥装置
蒸気乾燥装置登録2007・請求項1項
ウェーハのパターン面が処理槽の壁面に向いている場合でもウォータマーク発生の抑制することができる蒸気乾燥装置を提供する
