株式会社パルサ
24.4東京都青梅市に所在する、従業員（被保険者）2名の企業。
- 所在地
- 〒198-0024 東京都 青梅市 新町３丁目７番地の１８
- 法人番号
- 4013101003949
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東京都青梅市に所在する、従業員（被保険者）2名の企業。
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株式会社パルサは特許8件を保有しています。特許は半導体などの分野が中心です。
特許
8件
登録 5
登録・現存
4件
審査中
0件
満了
0件
消滅
1件
拒絶・取下げ
3件
雰囲気制御機構及び小型製造装置登録2017・請求項7項
クリーンルームを有さない半導体製造工場等において、工場内部の温度や湿度が変動しても、レジスト塗布装置等の内部の温度・湿度を精度良く制御できる雰囲気制御機構
光インプリント方法登録2008・請求項3項
光インプリント方法において均一な残膜分布を与え、ＵＶ等の照射時に干渉縞が発生しない方法を開発すること。
データ基準日: 2026年7月26日確認分
