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法人向け(製造業・IT・ソフトウェア)
業種・対象顧客は公開情報をもとに AI が推定したものです。持株会社など グループ経営の会社では、主要な事業会社の業種を表示します。実態と 異なる場合は お問い合わせください。
リソテックジャパン株式会社は、1993年の設立以来、リソグラフィのスペシャリストとして微細加工プロセス用評価・製造装置の開発、製造、販売、輸出入、保守サービスを一貫して提供しています。同社の主要事業は多岐にわたり、半導体や液晶をはじめとする電子技術分野の技術革新を支援しています。具体的には、研究開発から生産用途まで対応する自動・マニュアルのレジスト塗布・現像・ベーク装置「LITHOTRACシリーズ」や「Litho Spin Cupシリーズ」、疎水化表面処理を行うHMDSベーク装置「APPSシリーズ」などを提供しています。これらの装置は、2インチ以下の小片基板から300mmウェーハまで、またg線/i線レジスト、ポリイミド、EBレジスト、EUVレジスト、ArF/KrFレジストといった多様な材料に対応し、アルカリ現像液や有機現像液によるパドル現像、スプレー現像が可能です。また、ミニマルファブ技術研究組合に参加し、0.5インチウェーハに対応するミニマルコータ・デベロッパの開発も行っています。 また、フォトレジストの現像特性解析に不可欠な現像速度解析装置「RDAシリーズ」や、ブロード光からEUV露光まで対応するフォトプロセス解析露光装置、レジスト評価ツールなどのレジスト評価システムも開発・提供しています。特に「RDAシリーズ」は、高Rmaxレジスト(ArFレジストなど)やQCM法による膨潤挙動解析にも対応し、リソグラフィ・シミュレータに必要なレジスト・モデリング・パラメータを正確に決定できます。露光装置のフォーカス決定やレンズ系最適化に貢献するBenchmark Technologies社製の半導体露光装置用テストレティクル、特にIBMの特許出願中技術を利用した位相シフトフォーカスモニタレチクルも取り扱っています。 さらに、低コストで高解像性を実現するナノインプリント装置「LTNIPシリーズ」や、リソグラフィプロセスの最適化を支援するKLA-Tencor社製の光リソグラフィ・シミュレータ「PROLITH」、CD解析ソフトウェア「ProDATA」、CD-SEM画像からのラフネス測定/解析ソフトウェア「MetroLER」といったシミュレータも提供しています。膜厚測定装置としては、Foothill社製の光干渉式膜厚測定装置やULVAC社製の分光エリプソメータ、シリコンウェーハ厚さ測定装置をラインナップ。最先端技術に対応するため、Energetiq Technology社製のEUV光源や高輝度・広帯域波長LDLS白色光源も提供しています。 長年培ったレジスト評価技術を活かし、レジスト露光解析、現像溶解速度測定、感光性材料の性能評価や基礎解析などの受託測定・受託研究も手掛けており、お客様の多様なニーズに応える包括的なソリューションを提供しています。同社は、半導体デバイスメーカー、製造装置メーカー、材料メーカー、基板メーカー、マスクメーカー、研究機関などを主要顧客とし、国内外の微細加工技術の発展に貢献しています。
2026年4月30日 時点。この概要は AI を利用して公開情報から抽出しています。事実と異なる箇所がある場合は お問い合わせください。
純利益
3.3億円
総資産
27億円
従業員数(被保険者)
43人 · 2026年7月
27期分(2024/03〜2026/07)
ROE単体
42.94% · 2025年3月
4期分(2022/03〜2025/03)
ROA単体
12.04% · 2025年3月
4期分(2022/03〜2025/03)
自己資本比率単体
28.04% · 2025年3月
4期分(2022/03〜2025/03)
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リソテックジャパン株式会社は特許43件・商標8件・実用新案1件を保有しています。商標は機械・エンジン(第7類)、特許は半導体などの分野が中心です。
特許
43件
登録 31
商標
8件
登録 8
実用新案
1件
登録 1
登録・現存
14件
審査中
6件
満了
0件
消滅
18件
拒絶・取下げ
6件
RCSコンソーシアム
IT・研究開発・デザイン · 登録2026
デジタルエッチャー
機械・エンジン · 登録2023
デジタルCMP
機械・エンジン · 登録2023
Metaverse Lithography
機械・エンジン · 登録2022
MVL
機械・エンジン · 登録2022
picolithography
機械・エンジン · 登録2021
フェリチン用リンス液登録2025・請求項2項
基板の外周部、側面および裏側に形成されたフェリチン層を有効に除去するフェリチン用リンス液、およびリンス方法
製造方法登録2024・請求項11項
大気圧低温プラズマにより、樹脂製の中空物品の内側表面に微細凹凸構造を形成する新規な方法の提供。
データ基準日: 2026年7月26日確認分
産業分野: 電気工学(29)・計測機器(22)・化学(12)・機械工学(10)
ゴミ箱登録2023・請求項2項
ゴミのかさを減らすことは、ごみ箱交換の頻度を下げるので、手間を低減する。また、ゴミのかさを減らすことは、出されるごみ箱の数量を減らすことになり、ゴミ処理のコストを低減する。したがって、ゴミに触れることなくゴミを圧縮することのできるゴミ箱
複合材料登録2023・請求項5項
油性成分の付着を防止する新規な複合材料、およびその製造方法の提供。
柱状層流生成装置ならびに柱状層流生成方法登録2020・請求項7項
柱状層流を生成することのできる柱状層流生成装置を提供することを課題とする。