東京都福生市に所在する、2013年設立・社会保険被保険者数2名の製造業（機械・設備）企業。
- 所在地
- 〒197-0011 東京都 福生市 大字福生８６４番地３２
- 法人番号
- 4013101006555
東京都福生市に所在する、2013年設立・社会保険被保険者数2名の製造業（機械・設備）企業。
法人向け（製造業）
業種・対象顧客は公開情報をもとに分類・推定したものです。持株会社など グループ経営の会社では、主要な事業会社の業種を表示します。実態と 異なる場合はお問い合わせください。
株式会社ディー・エス・アイ・テクノロジーは、半導体、太陽光電池、LEDの製造工程で用いる熱処理炉の設計・製造を主軸とし、既存装置の保守・改造、中古炉の再生を手掛ける。同社は酸化炉、拡散炉、LP-CVD炉、真空アニール炉、精密卓上炉などを扱い、横型・縦型、400℃前後の低温域から1300℃以上の高温域、2インチなどの小口径から移載機付き量産機まで個別仕様に対応する。シリコンウエハに加え、GaAs、GaN、SiC、サファイアを用いる化合物半導体、LEDチップ、パワーデバイス、MEMS、太陽電池の製造工程向け装置も設計する。 研究所や大学の試作・実験用装置、少量生産の特殊デバイス向けカスタム炉、COMB移載機を搭載した量産機を製作するほか、ガス系ユニット、水素・酸素燃焼ユニット、Bubblerユニット、POCl3恒温槽、25枚一括移載機、SCRユニット、ヒーターカートリッジなども取り扱う。保守・改造では、プロセス温度や到達真空度の測定、ヒーター・熱電対線・サイリスタの交換、ポンプのオーバーホール、DDCコントローラー更新、ウエハサイズ変更、真空排気ライン改造などを実施する。 中古半導体製造炉の再生事業では、装置の買取、搬出、状態確認、分解、部品交換、検査、搬入、据付、立上げ、納入後の保守を担い、顧客仕様に合わせた改造やプロセス再現にも対応する。光洋サーモ製PYRO酸化炉や東京エレクトロン製バブラー酸化炉の再生実績を持つ。熱処理装置の新規製作、既存設備の延命、再生装置の販売、部品販売を組み合わせるビジネスモデルであり、半導体向け電気炉と熱処理業務に数十年従事した技術者による個別設計と旧式装置への対応力を強みとする。
2026年8月15日 時点。この概要は AI を利用して公開情報から抽出しています。事実と異なる箇所がある場合は お問い合わせください。
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