エコーテック株式会社

業種

製造業機械・設備

対象顧客

法人向け（製造業）

公式サイト

echo-tech.jp

業種・対象顧客は公開情報をもとに AI が推定したものです。持株会社など グループ経営の会社では、主要な事業会社の業種を表示します。実態と 異なる場合は お問い合わせください。

エコーテック株式会社は、半導体基板洗浄装置および関連設備の設計・製作を主力とし、装置の現地組立、定期修理、改造工事まで担う企業である。同社は、研究開発機と量産設備を完全オーダーメイドで構築し、プロセス相談から設計、製造、据付、アフターサービスへつなげる事業体制を敷く。主力のシリコンウェハー洗浄装置は12インチ・8インチに対応し、シリコンウェハーや再生ウェハーの最終洗浄、CMP後洗浄、DSP後洗浄に用いられる。酸・アルカリエッチング装置では、薬品特性に応じた材料選定とプロセス制御により、半導体基板の処理条件や開発要件に合わせたエッチング環境を構築する。 搬送ロボット、サーキュレーションポンプ、定量システム、フィルタリングユニット、定量タンク、電装部を組み合わせ、汎用機では対応しにくい特殊プロセスや複雑な基板条件を装置仕様へ反映できる点を強みとする。3D-CADのiCAD SX・SolidWorks、2D-CADのAutoCADを設計に使用し、クラス100～1,000対応エリアを備えたクリーンルーム、樹脂溶接設備、パーティクルカウンター、三次元測定機、水質計を社内の製造・検査基盤に置く。30年以上にわたり蓄積したウェハーメーカーでの知見と実証データを基礎に、37nm以下の微粒子が歩留まりを左右する微細加工領域にも対応する。装置の個別受注と保守・改造を組み合わせるビジネスモデルで、世界各国のウェハーメーカー、リクレイムメーカー、半導体デバイス・化合物半導体メーカーに加え、自動車、鉄鋼、電子部品関連企業への納入実績を持つ。

2026年8月5日 時点。この概要は AI を利用して公開情報から抽出しています。事実と異なる箇所がある場合は お問い合わせください。