法人向け（製造業・教育・研修）行政向け
フジ・インバック株式会社は、真空装置製作、超高真空機器、自動圧力制御システム、イオン注入装置、ナノ空孔計測装置、クリーンブラスター、馬術競技機器などの開発、設計、製造、販売、サポートを一貫して手掛ける企業です。同社の主要事業の一つである自動圧力制御機器は、プロセスチャンバーの圧力を自動制御するシステムであり、汎用型から複雑なプロセス向けの開発型まで、顧客ニーズに合わせたOEM供給にも対応しています。小口径から大口径まで、コントローラ一体型や分離型、自己加熱型、バタフライ型、ウイング型、さらには全閉バルブや樹脂バルブといった特殊バルブまで幅広いラインナップを提供し、半導体製造装置やFPD、PV、SOLAR、産業分野の圧力制御に貢献しています。 また、パルスビーム方式陽電子寿命測定装置（PALS装置）は、薄膜材料内の原子空孔からナノ空孔までを低ダメージ・非破壊で測定できる画期的な装置です。産業技術総合研究所との共同開発により、従来大型加速器施設でしか行えなかった深さ可変PALS測定法を小型化し、通常の実験室に設置可能な普及型装置「PALS-200A」を提供しています。LSI材料、化合物半導体薄膜、多孔質材料、分離膜、ガスバリア膜など、多岐にわたる材料の空孔欠陥分析に利用され、材料開発や品質管理に不可欠なツールとなっています。 イオン注入装置は、各種研究開発向けにガス・固体両方のイオン化に対応し、Be注入も可能な装置を製作。ウェハーだけでなく多様な形状・サイズのワークに対応し、既存装置の改造・修理も行っています。クリーンブラスターは、サンドブラストの原理を応用した半導体製造装置部品のクリーニング装置で、イオン注入、CVD、スパッタ、蒸着装置などの部品を短時間で安全に処理します。二重局所排気構造やロードロック機構、密閉型フード構造により、クリーン環境と作業者の安全を確保し、研磨材の循環式や完全ドライ方式で運用コストと廃液処理の負担を軽減します。 さらに、真空蒸着装置や真空加熱装置といった真空応用装置、基板加熱機構、三源蒸発源、EBガン、ペンシル型走査型プローブ顕微鏡などの真空機能部品、そして角型・ロードロック・チタン製・低温真空チャンバーなどの真空チャンバー・加工品も提供しています。特にペンシル型SPMは、JSTの育成研究課題として北陸先端科学技術大学院大学との共同開発により、超高分解能SEMと複合化し、原子・分子レベルでの観察・操作・組立を可能にするナノテクノロジーツールとして期待されています。同社はVAT社をはじめとする海外メーカーの真空部品の代理店販売も行い、幅広い顧客層（官公庁、大学、民間企業）に対し、高度な真空技術と計測ソリューションを提供し、日本の科学技術研究と産業の発展に貢献しています。
2026年4月30日 時点。この概要は AI を利用して公開情報から抽出しています。事実と異なる箇所がある場合は お問い合わせください。
従業員数（被保険者）
17人 · 2026年6月
31期分（2023/12〜2026/06）
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