法人向け（製造業・教育・研修）行政向け
業種・対象顧客は公開情報をもとに AI が推定したものです。持株会社など グループ経営の会社では、主要な事業会社の業種を表示します。実態と 異なる場合は お問い合わせください。
株式会社エリオニクスは、1975年の創業以来、最先端のナノテクノロジー分野において、微細加工装置および計測・分析装置の開発、製造、販売を一貫して手掛ける企業です。同社の主要事業は大きく二つの柱から成り立っています。一つ目は「微細加工装置」であり、特に電子ビーム描画装置「ELSシリーズ」は、ナノスケールの高精細なパターン形成を可能にする基幹技術として、研究開発から生産用途まで幅広く利用されています。同装置は、加速電圧やチャンバーサイズ、搬送機構などを自由に組み合わせられるモジュールシステムを採用し、12インチウェハーの全面露光、最大電流800nA、業界最速400MHzのスキャンクロック、最大5mmの広視野描画といった高い性能を誇ります。また、ECRイオンビーム装置「EISシリーズ」では、マスクへのダメージを最小限に抑えたエッチングや成膜を実現し、直進性の高いイオンビームによる精密加工や活性ガスを用いた反応性イオンエッチングにも対応しています。 二つ目の柱である「計測・分析装置」では、純国産の超微小押し込み硬さ試験機「ENTシリーズ」を提供しており、高いデータ再現性と親しみやすいGUIが特徴です。ISOやJIS規格に準拠し、大型試料の測定や表面力測定オプションも備え、材料の機械的特性評価に貢献しています。さらに、電子線三次元粗さ解析装置「ERAシリーズ」は、独自のセミインレンズ方式により、低加速電圧で高さ方向1nmという超高分解能での三次元測定を実現。試料最表面の微細な形状を正確に捉え、JIS/ISO規格に準拠した表面性状パラメータを提供することで、高分解能SEM観察と三次元形状測定を一台で可能にしています。高分解能SEM用試料コーティング装置「ESC-101」も手掛け、ホローアノードイオン銃とマグネトロンイオン銃を組み合わせた独自の新型イオン銃技術により、スパッタ粒子径1nm以下の超微細構造膜を熱ダメージ少なく短時間で形成できる強みを持っています。 同社の製品は、国内外の大学、公的研究機関、官公庁、そして半導体や材料分野の民間企業の研究開発部門や品質管理部門など、多岐にわたる顧客層に導入されています。長年にわたり培われた世界屈指のナノテクノロジー技術と、顧客ニーズに合わせたカスタマイズ性の高い製品ラインナップが強みであり、デモンストレーションや技術相談を通じて最適なソリューションを提供しています。グローバルニッチトップ企業として、未だ見ぬ小さな世界への挑戦を続け、世界中の技術革新を支える重要な役割を担っています。
2026年4月30日 時点。この概要は AI を利用して公開情報から抽出しています。事実と異なる箇所がある場合は お問い合わせください。
従業員数（被保険者）
105人 · 2026年7月
32期分（2023/12〜2026/07）
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現場力を鍛える
遠藤功
日本のモノづくり現場の強さの源泉を解明
株式会社エリオニクスは特許23件・商標9件・実用新案1件を保有しています。商標は機械・エンジン（第7類）、特許は電気機械・装置・エネルギーなどの分野が中心です。
特許
23件
登録 3
商標
9件
登録 9
実用新案
1件
登録 1
登録・現存
0件
審査中
0件
満了
0件
消滅
4件
拒絶・取下げ
20件
ＥＬＳ－ＯＲＣＡ
機械・エンジン · 登録2024
ＥＬＳ－ＨＡＹＡＴＥ
機械・エンジン · 登録2023
ＥＮＴ
電子機器・ソフトウェア · 登録2022
ＥＲＡ－ｎａｎｏＲ
電子機器・ソフトウェア · 登録2021
ＥＬＳ－ＢＯＤＥＮ
機械・エンジン · 登録2021
表面力測定方法および表面力測定装置登録2014・請求項10項
表面力を広い範囲で正確に測定することができる表面力測定方法
金属ナノ粒子の形成方法登録2013・請求項9項
金属ナノ粒子を物体表面に物理的に密着させ、かつ配列している金属ナノ粒子を所望の領域に形成することができ、さらに形成される金属ナノ粒子の平均直径および単位面積あたりの個数を所望の範囲に制御することができる電子線ナノ粒子化装置
データ基準日: 2026年7月28日確認分
※登録商標の指定商品・役務の区分です。企業の事業分野そのものではありません。
産業分野: 電気工学（16）・化学（8）・計測機器（7）・機械工学（6）
ＥＮＴ‐ＮＥＸＵＳ
電子機器・ソフトウェア · 登録2021
イオン銃を用いた試料表面処理装置登録1999・請求項5項
電子線応用装置で観察，分析を行う場合に試 料に必要な各種前処理を簡易かつ連続して行える装置を 得る。
