東京都板橋区に所在する、従業員（被保険者）4名の企業。
- 所在地
- 〒174-0041 東京都 板橋区 舟渡３丁目５番８号板橋区立第一工場ビル２０１号
- 法人番号
- 2011401007597
- 所在ビル
- 板橋区立第一工場ビル(4 社)
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東京都板橋区に所在する、従業員（被保険者）4名の企業。
従業員数（被保険者）
4人 · 2026年6月
31期分（2023/12〜2026/06）
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接続方法を見る株式会社ナノテックは特許13件・実用新案1件を保有しています。特許は半導体などの分野が中心です。
特許
13件
登録 11
実用新案
1件
登録 1
産業分野: 電気工学（12）・計測機器（8）・化学（4）・機械工学（2）
前室局所クリーン化搬送機構登録2017・請求項3項
小型製造装置において、微粒子による処理基板の汚染を低減する。
前室アーム配置機構登録2017・請求項8項
アーム昇降用のモータ機構で発生した微粒子による処理基板の汚染を防止する。
装置内層流化機構登録2017・請求項7項
小型の半導体製造装置において、ＨＥＰＡフィルタを使用すること無く空気の層流化を行う。
露光装置登録2017・請求項4項
発熱量が少なく、露光に必要な波長の光を発するまでの立ち上がり時間が短いマスクアライナ
露光装置および露光方法登録2016・請求項6項
超少量生産かつ多品種生産に適切に対応できるマスクアライナ
