法人向け（製造業・教育・研修・公共・行政）行政向け
2026年3月時点
業種・対象顧客は公開情報をもとに AI が推定したものです。持株会社など グループ経営の会社では、主要な事業会社の業種を表示します。実態と 異なる場合はお問い合わせください。
バキュームプロダクツ株式会社は、各種真空装置・部品、超高真空室内搬送機器、荷電粒子源の設計・組立・販売を主要事業とし、真空機器の商品開発および製造技術に関するコンサルティングも手掛ける。研究者や技術部門との打ち合わせから図面設計、加工、溶接、組立、性能検査、納品までを担い、特殊仕様や予算、納期に応じたオーダーメイド装置を製作する。真空計、マニピュレータ、導入機、ステージ、電流導入端子などの既製部品も在庫販売し、故障予防、消耗品補充、部品交換、機器調整、改造を含む保守サービスを行う。 同社の製品・納入実績には、カーボンナノチューブ製造装置、真空アニール装置、CVD方式の半導体積層薄膜形成装置、人工衛星や探査機向け機器の温度・真空試験を行うスペースチャンバーがある。NEC向けスペースチャンバーでは、温度制御、クライオポンプ、全自動シーケンス制御、IoT機能を組み合わせ、2024年3月に納入した。水晶式隔膜真空計Qruvaは、自社特許の感圧・断熱機構と水晶圧電素子により、0.1Paから100kPaまでガス種に依存しない圧力測定に対応する。大学、国公立研究機関、半導体・電機メーカーを主要顧客とし、技術者が商談から設計、製造、納品後の改修まで直接担当できる体制、研究機関から得た専門的な意見を製品改良へ反映できる関係、特殊要件を装置として具体化する設計・製造力を強みとする。
2026年8月30日 時点。この概要は AI を利用して公開情報から抽出しています。事実と異なる箇所がある場合は お問い合わせください。
社会保険被保険者数
26人 · 2026年8月
33期分（2023/12〜2026/08）
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所在地を問わず同業種で選定
株式会社ナンシン上場
オイレス工業株式会社上場
株式会社小松製作所上場
酒井重工業株式会社上場
ヴィスコ・テクノロジーズ株式会社上場
日本アイ・エス・ケイ株式会社上場
濱井産業株式会社上場
株式会社荏原製作所上場
バキュームプロダクツ株式会社は特許4件・商標2件を保有しています。商標は電子機器・ソフトウェア（第9類）、特許は計測などの分野が中心です。
特許
4件
審査中・消滅含む 24件
実用新案
0件
審査中・消滅含む 3件
商標
2件
登録・現存
4件
審査中
1件
うち審査請求なし 1件
満了
0件
消滅
10件
拒絶・取下げ
12件
Ｑｒｕｖａ
電子機器・ソフトウェア · 登録2025
Ｑ’ｚ
電子機器・ソフトウェア · 登録2011
成膜装置一体型顕微鏡登録2024・請求項3項
成膜装置と顕微鏡とを融合した成膜装置一体型顕微鏡の提供
搬送機構登録2024・請求項2項
多関節ロボットよりも簡単な構造で、ワークを進退させる進退機構の最大回転半径を小さくすることができる搬送機構
データ基準日: 2026年8月6日確認分
産業分野: 計測機器（現存3）・機械工学（現存1）・電気工学（現存1）
隔膜圧力計及び複合圧力計登録2022・請求項10項
環境温度や気体種に依存せずに大気圧以下の圧力を計測できる、被測定圧力下に配置される隔膜圧力計
水素濃度測定装置登録2018・請求項5項
被測定気体の種類に制約なく被測定気体中の水素濃度を高感度で測定することができる水素濃度測定装置及びそれに用いられる物性依存式圧力計
