時田CVDシステムズ株式会社は特許6件を保有しています。特許は表面技術・コーティングなどの分野が中心です。
特許
6件
登録 3
登録・現存
1件
審査中
0件
満了
0件
消滅
2件
拒絶・取下げ
3件
透明な酸化イットリウム膜とその製造方法登録2008・請求項6項
広い波長範囲において透明性が良好で、膜全体にわたって均一な性状を有するとともに、機械的性状の改善された透明な酸化イットリウム膜及びその製造方法
大気開放型CVD装置登録2008・請求項8項
ノズルのガス噴出口から原料ガスを均一な状態で基材表面全体に吹付けることができるとともに、基材加熱装置によるノズルの過熱を防止して、基材表面に均一な金属酸化物膜を効率よく形成することのできる、大気開放型CVD装置
データ基準日: 2026年7月29日確認分
産業分野: 化学(4)・機械工学(1)・計測機器(1)