法人向け（製造業）
業種・対象顧客は公開情報をもとに AI が推定したものです。持株会社など グループ経営の会社では、主要な事業会社の業種を表示します。実態と 異なる場合はお問い合わせください。
時田ＣＶＤシステムズ株式会社は、半導体製造装置部品などを対象とするCVDイットリアコーティングと、CVDイットリアコート付きガラスの販売を主軸とする。酸化イットリウム（Y2O3）の緻密膜は、プラズマやフッ素・塩素・臭素などのハロゲン系腐食性ガスへの耐食性、凹凸面を隙間なく覆う段差被覆性、立体物への成膜性を特徴とする。耐プラズマ試験におけるエッチング速度は1nm/minで、サファイアの約10分の1、石英ガラスの約100分の1。パーティクルを抑制し、半導体装置部品の長寿命化を支える技術として、石英、セラミックス、金属への受託コーティングを行う。 同社はCVD技術を配管や細穴へ応用し、ステンレス配管に由来する金属汚染を低減する内面コーティングも手掛ける。直径0.5～100mmの直管、溶接配管、複雑な流路、ガスノズルなどに対応し、SUS316L、アルミ合金、石英ガラス、セラミックスへの成膜実績を持つ。さらに、イットリウムとアルミニウムの複合酸化膜「Yaコート」を展開し、400℃以上での耐食性とCVDイットリア膜の2倍の硬さを実現。600℃の三フッ化塩素暴露試験でも保護膜としての機能を確認している。 受託品は受け入れ後に外観・数量・施工範囲を確認し、クラス1000のクリーンルームでパーティクルを除去してから成膜する。施工後は外観検査や干渉膜厚計による膜厚測定を行い、必要に応じてSEM・EDS、XRF、XRD、XPS、密着力試験、高温フッ化試験、ナノインデンターなどで薄膜を評価する。顧客から装置部品や配管を預かって施工・検査・出荷する受託加工と、コーティング済みガラス・チューブの製品販売を組み合わせる事業構成にあり、大学発ベンチャーとして蓄積した大気開放型CVDの成膜技術と複雑形状への施工能力が強みである。
2026年8月7日 時点。この概要は AI を利用して公開情報から抽出しています。事実と異なる箇所がある場合は お問い合わせください。
社会保険被保険者数
5人 · 2026年9月
33期分（2023/12〜2026/09）
被保険者数 前年同月比
0人 · 2026年9月
前年同月 5人（2025年9月）→ 5人（0人）
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株式会社ＪＥＰＬＡＮ
ＮＯＫ株式会社上場
クミアイ化学工業株式会社上場
藤倉化成株式会社上場
時田ＣＶＤシステムズ株式会社は特許1件を保有しています。
特許
1件
審査中・消滅含む 6件
登録・現存
1件
審査中
0件
満了
0件
消滅
2件
拒絶・取下げ
3件
データ基準日: 2026年8月6日確認分
