法人向け（製造業・教育・研修）行政向け
業種・対象顧客は公開情報をもとに AI が推定したものです。持株会社など グループ経営の会社では、主要な事業会社の業種を表示します。実態と 異なる場合はお問い合わせください。
株式会社片桐エンジニアリングは、1991年の設立以来、超高真空から超臨界までの幅広い圧力領域に対応する気密プロセス装置の製作を専門とする技術開発指向型企業です。同社は、標準製品を持たず、顧客の具体的なアイデアや理論に基づき、世界で唯一のオンリーワン装置を開発、設計、製造、そしてメンテナンスまで一貫して提供するビジネスモデルを確立しています。特に真空技術分野に強みを持ち、半導体製造装置、一般産業機械、プラズマ応用装置の開発・設計・製造・保守サービスを手掛けています。 具体的な製品としては、電子ビーム励起プラズマを用いた高密度プラズマ処理装置「EBEP処理装置」や、3つのターゲットで同時成膜が可能な「三元マグネトロンスパッタ装置」、プラズマ生成とバイアス機能を備えた「CCP型プラズマエッチング装置」、基板傾斜機構搭載の「高真空蒸着装置」など多岐にわたります。また、名古屋大学との共同開発による超小型ラジカル絶対密度計測装置「ラジカルモニター」や、高速・高品質結晶成長を両立させる「高密度ラジカル源」、真空紫外光用の小型分光器「VUV分光器」、各種ナノカーボン堆積装置、超高密度室温大気圧プラズマ装置なども提供しています。 同社の強みは、顧客のニーズに応じたカスタマイズ製作能力と、最先端技術への対応力にあります。例えば、ナノテクノロジー分野では、名古屋大学との共同研究により、反応空間内の原子状ラジカル濃度を測定するプラズマ診断技術を応用した「自律型ナノ製造装置」の開発に貢献しており、エレクトロニクス、機械加工、自動車、医療・バイオ、化学工業といった幅広い産業分野への波及を目指しています。製作実績には、加速器関連機器、レーザーアブレーション装置、MBE装置、窒素雰囲気用クヌーセンセル、超高真空5軸マニピュレーター、マグネトロンスパッタ装置などがあり、国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構からの「JT-60SAビーム保護板の製作」や「NBI装置ドリフト管改造部品の製作」といった大型プロジェクトも手掛けています。これらの実績は、同社の高度な技術力と信頼性を裏付けています。顧客層は、大手法人企業、大学、研究機関など多岐にわたり、産・官・学連携を積極的に推進しています。
2026年4月30日 時点。この概要は AI を利用して公開情報から抽出しています。事実と異なる箇所がある場合は お問い合わせください。
社会保険被保険者数
36人 · 2026年9月
34期分（2023/12〜2026/09）
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株式会社荏原製作所上場
株式会社片桐エンジニアリングは特許11件を保有しています。特許は表面技術・コーティングなどの分野が中心です。
特許
11件
審査中・消滅含む 25件
登録・現存
11件
審査中
0件
満了
0件
消滅
8件
拒絶・取下げ
6件
ｃＢＮ膜の製造方法登録2023・請求項3項
基材とｃＢＮ膜との間の十分な密着性と高い硬度と厚い膜厚とを備えるｃＢＮ膜の製造方法を提供することである。
ｃＢＮ膜の製造方法登録2020・請求項5項
基材とｃＢＮ膜との間の密着性の高いｃＢＮ膜を高効率に成膜するｃＢＮ膜の製造方法およびｃＢＮ形成体を提供することである。
データ基準日: 2026年9月10日確認分
産業分野: 化学（現存10）・電気工学（現存6）・機械工学（現存2）
大気圧プラズマ照射装置登録2019・請求項7項
製造を容易にし、放電領域の断面やガス層流の厚さを調整可能とする。
プラズマＣＶＤ装置及びカーボンナノチューブの製造方法登録2016・請求項21項
カーボンナノチューブの成長速度を高めることが可能なプラズマＣＶＤ装置及びカーボンナノチューブの製造方法
分子線エピタキシー装置登録2016・請求項8項
ラジカル源によるラジカルの照射によって成膜するＭＢＥ装置において、成膜速度を向上させること。
