法人向け（製造業・教育・研修・公共・行政）行政向け
業種・対象顧客は公開情報をもとに AI が推定したものです。持株会社など グループ経営の会社では、主要な事業会社の業種を表示します。実態と 異なる場合は お問い合わせください。
株式会社イー・エム・ディーは、SCREENホールディングスのグループ企業として、プラズマおよび電磁プロセス技術の調査・技術コンサルティング、研究開発の受託、表面処理装置の設計・製造・販売を手掛ける。同社は大阪大学との共同研究から生まれた低インダクタンスアンテナ（LIA）を中核技術とし、半導体、液晶・有機ELディスプレイ、薄膜太陽電池、LED、薄膜材料などのメーカーや研究機関を対象に、成膜プロセスの改善、プラズマ源の共同開発、新材料・新プロセスの開発支援を行う。装置販売に加え、受託研究と技術コンサルティングを組み合わせる事業構成である。 LIAは、誘電体で覆った小型アンテナを真空容器内に複数配置するマルチアンテナ方式により、高密度かつ低電位のプラズマを大面積へ均一に生成する技術である。独立した高周波電力制御によって低ダメージ処理と均一性の能動制御を可能にし、大型ガラス基板や長尺フィルムの薄膜形成、CVD、エッチング、スパッタ成膜、表面改質へ応用する。研究用装置として、長尺型プラズマシステム、プラズマ分布評価システム、高密度プラズマ支援スパッタカソード、ドラム式多層膜形成装置、マルチチャンバーシステム、小型プラズマ処理装置を扱う。最大4層を大気開放せず連続成膜できる構成や、プロセス監視・データロギング機能にも特徴があり、科学技術振興機構から実施許諾を受けた特許群と研究助成事業への採択実績を技術基盤とする。
2026年8月13日 時点。この概要は AI を利用して公開情報から抽出しています。事実と異なる箇所がある場合は お問い合わせください。
純利益
-6,250万円
総資産
2.0億円
社会保険被保険者数
8人 · 2026年8月
33期分（2023/12〜2026/08）
ROE単体
—% · 2026年3月
11期分（2016/03〜2026/03）
ROA単体
-31.49% · 2026年3月
11期分（2016/03〜2026/03）
自己資本比率単体
-44.65% · 2026年3月
11期分（2016/03〜2026/03）
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所在地を問わず同業種で選定
酒井重工業株式会社上場
株式会社イー・エム・ディーは特許22件・商標2件を保有しています。商標は機械・エンジン（第7類）、特許は化学工学などの分野が中心です。
特許
22件
審査中・消滅含む 43件
商標
2件
登録・現存
22件
審査中
2件
うち審査請求なし 1件
満了
0件
消滅
7件
拒絶・取下げ
12件
ＥＭＤ
機械・エンジン · 登録2021
ＬＩＡ
機械・エンジン · 登録2008
スパッタ装置登録2026・請求項9項
プラズマ密度を高くすることができ、それによって成膜速度を速くすることができるスパッタ装置
冷却装置登録2024・請求項7項
冷媒に対する耐食性が高く、且つ、冷却効率が高い冷却装置
データ基準日: 2026年8月6日確認分
産業分野: 化学（現存17）・電気工学（現存13）
高周波アンテナ及びプラズマ処理装置登録2024・請求項10項
プラズマ生成のための高周波においても効率よく大電流を流すことができる高周波アンテナ及び該高周波アンテナを用いたプラズマ処理装置
ＬＥＤ光照射装置登録2024・請求項3項
誤検知を生じることなくショート異常を検出することができるＬＥＤ光照射装置
プラズマ源登録2024・請求項7項
構造が簡素であって、装置に要するコストを抑えることができるアンテナの冷却機構を有する誘導結合型のプラズマ源
