法人向け(製造業)
萩原エンジニアリング株式会社は、半導体分野に特化した関連装置の設計・製造・販売と、精密部品加工を主軸とする企業です。同社は、半導体前工程で使用される多岐にわたる装置を提供しており、具体的には8インチウエハカセット寸法検査機、レチクル検査機、8インチウエハ移載機、FOSBオープナー、スタック式ウエハローダなどが挙げられます。特に、薄厚ウエハの安全かつ高速な搬送を可能にする特許取得済みの新方式ベルヌーイ吸着技術を用いた薄厚ウエハ対応真空ピンセットや移載機は、薄型で反りのあるウエハの取り扱いに強みを発揮します。これらの装置は、コンパクトな設計や高速処理能力、低価格化を実現し、半導体製造現場の効率化に貢献しています。
2026年6月6日 時点。この概要は AI を利用して公開情報から抽出しています。事実と異なる箇所がある場合は お問い合わせください。
従業員数(被保険者)
13人 · 2026年6月
31期分(2023/12〜2026/06)
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日本電子材料株式会社上場
萩原エンジニアリング株式会社は特許7件を保有しています。特許はハンドリングなどの分野が中心です。
特許
7件
登録 3
ウエーハ保持装置登録2012・請求項4項
従来のウエーハのエッジ検査におけるウエーハのエッジ部をグリップする保持方法は、ウエーハを傷つけてしまうことがあるとともに、グリップした際の影響でウエーハエッジが波打つことにより測定精度に影響を及ぼす不具合がある。またクランプでウエーハのエッジ部を保持するために撮像できない部位がでるためにクランプ位置を替えて再度撮像することが必要であり、スループットが長くなるという問題がある。
搬送装置登録2010・請求項3項
常時気体を噴出させることなく対象物を吸着させて、対象物に異物が付着することを防止することができ、さらに、位置ずれを防止することができる搬送装置