東京都西多摩郡瑞穂町に所在する、2002年設立・社会保険被保険者数11名の製造業（半導体・電子部品）企業。
- 所在地
- 〒190-1222 東京都 西多摩郡瑞穂町 箱根ケ崎東松原３６番地７
- 法人番号
- 6013102003673
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東京都西多摩郡瑞穂町に所在する、2002年設立・社会保険被保険者数11名の製造業（半導体・電子部品）企業。
法人向け（製造業）
業種・対象顧客は公開情報をもとに AI が推定したものです。持株会社など グループ経営の会社では、主要な事業会社の業種を表示します。実態と 異なる場合はお問い合わせください。
有限会社NAS技研は、2002年の設立以来、半導体産業に不可欠なシリコンウェーハの品質検査を支える表面汚染回収装置および関連機器の専門メーカーです。同社は、シリコンウェーハの表面・側面に付着する微量の金属汚染物質を回収する装置、バルクエッチング装置、および関連機器の製造販売を主要事業としています。主力製品である「簡易型微量金属汚染物質回収装置（SCシリーズ）」は、親水状態のウェーハやシリコン以外の材質、表面が荒れたウェーハからの汚染回収を可能にし、パソコン接続による多彩な回収パターン作成や自動薬液供給・回収、保持具の自動洗浄（SC-9200）といった機能を備えています。また、「微量金属汚染物質自動回収装置（NACシリーズ）」は、キャリアケース内のシリコンウェーハに対し、気相分解から汚染回収、サンプル希釈までを全自動で行い、大量のウェーハ分析に貢献します。NAC-304はバルクエッチング機能を、NAC-316はICP-MS自動接続・検量線自動調整機能も搭載し、トータルでの元素分析ニーズに応えます。さらに、「バルクエッチング装置（BEM-310）」はオゾンとHFを用いたガスエッチングにより、高い平坦度を保ちつつウェーハ内部の汚染物質を回収します。その他、ウェーハ表面を疎水状態にする「気相分解用VPDBOX」や、クリーンな作業空間を提供する「クリーンドラフト（NCDシリーズ）」、特殊なPTFE製ピンセットなども提供しています。同社の強みは、シリコンウェーハ側面の汚染回収技術「ベベル回収」における国際特許、親水面ウェーハ回収における国内特許、そして10%以内の平坦度を保証する優れたバルクエッチング機能といった世界トップクラスの技術力です。主要な取引先は国内の主要半導体メーカー、デバイスメーカー、分析メーカーであり、国内外問わず48時間以内の迅速な修理対応とメンテナンス期限を設けない万全のアフターサービス体制で、顧客の長期的な装置利用をサポートしています。
2026年4月30日 時点。この概要は AI を利用して公開情報から抽出しています。事実と異なる箇所がある場合は お問い合わせください。
社会保険被保険者数
11人 · 2026年9月
34期分（2023/12〜2026/09）
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ザインエレクトロニクス株式会社上場
株式会社フェローテック上場
レーザーテック株式会社上場
日本電子材料株式会社上場
トレックス・セミコンダクター株式会社上場
アプライドマテリアルズジャパン株式会社
マイポックス株式会社上場
株式会社ニックス上場
有限会社ＮＡＳ技研は特許6件を保有しています。特許は半導体などの分野が中心です。
特許
6件
審査中・消滅含む 16件
登録・現存
6件
審査中
0件
満了
0件
消滅
5件
拒絶・取下げ
5件
バルクエッチング方法とバルクエッチング装置登録2022・請求項6項
基板のバルクエッチング方法であって、エッチングした後の基板表面の平面度を良好に維持することのできる基板のバルクエッチング方法
検査機器の薬液供給機器登録2022・請求項5項
検査装置の補機であって、薬液ボトルから検査装置に薬液を供給する薬液供給機器を提供しようとする。
データ基準日: 2026年8月6日確認分
基板処理装置登録2021・請求項14項
簡易な構成で、基板の表面を液滴で処理する基板処理装置とを提供しようとする。
回収治具と基板検査装置登録2018・請求項15項
基板の縁部に液滴を付着させて縁部に沿って移動させるのに好適な基板検査装置と回収治具と
基板処理方法と基板処理装置登録2014・請求項16項
簡易な構成で、基板の表面を液滴で処理する基板処理方法と基板処理装置と
