東京都青梅市に所在する、社会保険被保険者数27名の製造業（半導体・電子部品）企業。
- 所在地
- 〒198-0024 東京都 青梅市 新町８丁目１番地の１３
- 法人番号
- 7013101003459
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東京都青梅市に所在する、社会保険被保険者数27名の製造業（半導体・電子部品）企業。
法人向け（製造業）
業種・対象顧客は公開情報をもとに AI が推定したものです。持株会社など グループ経営の会社では、主要な事業会社の業種を表示します。実態と 異なる場合はお問い合わせください。
エコー技研株式会社は、同社が属するクラボウグループの半導体関連装置メーカーとして、半導体基板洗浄装置および薬液供給装置の設計・製造、現地組立、定期修理、改造工事を手掛ける。主力は、シリコンウェハー製造の最終工程でパーティクル、重金属、有機物などを除去するバッチ式自動ウェット洗浄装置であり、150mm、200mm、300mm、450mmのウェハーに対応する。300mm装置では、ウェハー間ピッチ5mmで25枚ずつを合わせた50枚処理技術を有し、SECS/GEM・GEM300による上位通信や、SMIF、AGV、ストッカー、OHTとの搬送連携にも対応する。国内外の大手シリコンウェハーメーカーへの納入実績があり、2011年には試作ライン向け450mmウェハー洗浄装置を出荷した。 半導体用フィルターの洗浄装置では、2～3インチの小型品から最大30インチまでを対象に、手動型、自動型、オンライン型を設計する。純水や薬液を用いた洗浄レシピに加え、出荷前検査の自動化や処理データのロギング機能も組み込む。液体成分濃度計「ケミカライザー」は光吸収原理とインライン設計を採用し、薬液濃度を連続測定する製品で、Pro-2、Pro-2+、Ace-3、RD-20を展開する。Ace-3は光学ユニットの恒温化と液温制御により4種混合液、オプションで最大8薬液種を測定できる。顧客ごとの製造工程や設置条件を反映し、機械・配管・電気回路・ソフトウェアの設計から製造、現地立上げ、保守、改造までを受注生産で担う点が事業上の特徴である。
2026年8月29日 時点。この概要は AI を利用して公開情報から抽出しています。事実と異なる箇所がある場合は お問い合わせください。
純利益
6.1億円
総資産
41億円
社会保険被保険者数
27人 · 2026年9月
34期分（2023/12〜2026/09）
ROE単体
17.75% · 2026年3月
11期分（2016/03〜2026/03）
ROA単体
14.73% · 2026年3月
11期分（2016/03〜2026/03）
自己資本比率単体
83.01% · 2026年3月
11期分（2016/03〜2026/03）
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接続方法を見る同地域・同業種で選定
同業種の企業を読み込み中
純利益
6.1億円
総資産
41億円
所在地を問わず同業種で選定
ザインエレクトロニクス株式会社上場
株式会社フェローテック上場
レーザーテック株式会社上場
日本電子材料株式会社上場
トレックス・セミコンダクター株式会社上場
アプライドマテリアルズジャパン株式会社
マイポックス株式会社上場
株式会社ニックス上場
エコー技研株式会社は特許1件を保有しています。特許は半導体などの分野が中心です。
特許
1件
審査中・消滅含む 4件
登録・現存
1件
審査中
1件
うち審査請求なし 1件
満了
0件
消滅
2件
拒絶・取下げ
0件
ウエハ回転装置及びウエハ回転方法登録2013・請求項6項
ウエハの処理ムラをなくすために、微小ゴミを発生させることなく、処理槽内でウエハを回転させることができるウエハ回転装置
データ基準日: 2026年8月6日確認分
