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法人向け(製造業)
業種・対象顧客は公開情報をもとに AI が推定したものです。持株会社など グループ経営の会社では、主要な事業会社の業種を表示します。実態と 異なる場合は お問い合わせください。
イーティーシステムエンジニアリング株式会社は、半導体プロセスに特化した各種治具および特殊ワーク向け製造装置の開発から設計、製造、保守点検までを一貫して手掛ける専門メーカーです。同社は、半導体、MEMS、SiC、LED、マスク(大型から小型)、液晶、ブランクスといった多岐にわたる分野の製造プロセスに対応しており、特にウエットプロセス(洗浄、エッチングなど)、TSV、塗布現像工程における装置開発に強みを持っています。顧客の具体的なニーズに応じたフルカスタム装置の提供を主軸とし、ハイスペックな製造装置から生産治具まで、多様な製品を設計・製作しています。 同社の製品ラインナップには、バッチ式および枚葉式の洗浄装置、エッチング装置、剥離装置、乾燥装置、塗布現像装置、メッキ装置などが含まれます。これらは、スピンチャックやバックシールといった特殊治具と組み合わせて使用され、裏面保護シールや廻り込み防止スピンチャックなどの独自技術を搭載しています。また、ウエハトランスファ装置では、卓越した搬送信頼性と表裏面非接触搬送を実現し、デリケートなワークの処理に対応します。 長年の経験と技術力を背景に、同社はこれまでに1,300台を超える装置を販売した実績を持ち、半導体製造プロセスの変革に対応した装置開発とアフターフォローの充実に注力しています。顧客のクリーンルーム内のスペースを有効活用できるよう、ワークの形状(丸型・角型)やサイズ、処理プロセスに応じた柔軟なカスタマイズ対応を可能にすることで、半導体関連産業の生産性向上に貢献しています。
2026年5月11日 時点。この概要は AI を利用して公開情報から抽出しています。事実と異なる箇所がある場合は お問い合わせください。
従業員数(被保険者)
42人 · 2026年7月
32期分(2023/12〜2026/07)
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日本電子材料株式会社上場
イーティーシステムエンジニアリング株式会社は特許9件を保有しています。特許は半導体などの分野が中心です。
特許
9件
登録 6
アライメント装置およびアライメント方法登録2013・請求項10項
アライメント対象物の変形を抑制し、高精度のアライメントを行うアライメント技術
サポートプレートの貼り付け装置登録2011・請求項4項
半導体ウェーハ等の基板とサポートプレートの間に挟まったガスを容易に除去しつつ圧着できる貼り付け装置
半導体ウェーハの分離装置登録2011・請求項1項
切断後のウェーハを1枚づつ確実に分離できるとともに分離の際にウェーハを破損することがない半導体ウェーハの分離方法
回転現像装置登録2008・請求項4項
被処理物全体を均一に温調することができる回転現像装置
半導体ウェーハ移送装置登録2006・請求項3項
半導体ウェーハ2を一つのウェーハ保持手段 から他のウェーハ保持手段へ常に確実に移送する