東京都八王子市に所在する、社会保険被保険者数5名の製造業（半導体・電子部品）企業。
- 所在地
- 〒193-0931 東京都 八王子市 台町４丁目４４番４号
- 法人番号
- 5012801008785
東京都八王子市に所在する、社会保険被保険者数5名の製造業（半導体・電子部品）企業。
法人向け（製造業）
業種・対象顧客は公開情報をもとに AI が推定したものです。持株会社など グループ経営の会社では、主要な事業会社の業種を表示します。実態と 異なる場合は お問い合わせください。
株式会社PARAMは、超高速電子ビーム描画技術と微細加工技術を核とした要素技術の開発・提供を行う企業です。同社は、電子ビーム描画・検査・SEM装置において、描画・観察中に発生する炭化水素膜（コンタミ）の付着を防止し、クリーンな環境を維持するためのオゾン供給機を提供しています。また、排出されるオゾンを分解し、無害な酸素ガスとして排出するオゾン除害機も手掛け、オゾン濃度を0.1ppm以下に抑えることで環境負荷低減に貢献しています。主要事業の一つである電子ビームコラムの設計・製造・受託では、大電流から微小スポットまで、顧客の多様な要望に応じた最適化された電子ビームコラムの設計・製造に精通しており、豊富な技術力で対応します。さらに、電子ビームの走査、位置検出、安定化、各種制御回路技術の設計・製造、および制御ソフトウェア開発業務にも深く精通しており、電子ビームシステム全体の包括的なソリューションを提供します。同社の強みは、永久磁石を用いた小型コラムを100本以上束ね、1本のコラム内に5nm以下のビームを正方格子状に1600本以上並べ、各ビームが独立して点滅するマルチビームマルチコラムシステムといった革新的な技術開発力にあります。また、1.8eV～2.1eVの低仕事関数を実現し、高輝度または高寿命を可能にする高輝度電子銃や、主磁界に永久磁石を用いた小型レンズにより、コラム径を微細径から20mm程度に抑制し、300mmウェハ上に最大170本のコラムを配置できる技術も提供しています。これらの高度な技術は、半導体製造、ナノテクノロジー、精密計測などの分野における研究機関や企業を主な顧客とし、次世代の微細加工技術の発展に寄与しています。
2026年4月30日 時点。この概要は AI を利用して公開情報から抽出しています。事実と異なる箇所がある場合は お問い合わせください。
社会保険被保険者数
5人 · 2026年8月
33期分（2023/12〜2026/08）
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所在地を問わず同業種で選定
日本電子材料株式会社上場
株式会社ＰＡＲＡＭは特許3件を保有しています。特許は電気機械・装置・エネルギーなどの分野が中心です。
特許
3件
審査中・消滅含む 19件
登録・現存
3件
審査中
0件
満了
0件
消滅
8件
拒絶・取下げ
8件
電子ビーム描画装置登録2017・請求項5項
アスペクト比が大きく十分な偏向能率が取れ、また５０ｋＶの電子線照射により短かった絶縁物の絶縁耐性寿命を改善するマルチビーム形成用のブランキング電極
電子ビーム装置登録2012・請求項8項
データ基準日: 2026年8月6日確認分
電子ビーム光学鏡筒のオゾン分子ガスによるクリーニングを効果的に行う。
