株式会社テクノファイン
30.1宮城県仙台市太白区に所在する、従業員（被保険者）2名の企業。
- 所在地
- 〒982-0243 宮城県 仙台市太白区 秋保町長袋字門前２１番地
- 法人番号
- 1370001001975
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宮城県仙台市太白区に所在する、従業員（被保険者）2名の企業。
株式会社テクノファインは特許12件を保有しています。特許は計測などの分野が中心です。
特許
12件
登録 5
パージ機能付き二重中空同軸構造を使用した水晶振動子式膜厚計登録2025・請求項4項
プリカーサがＱＣＭセンサーホルダヘッド容器内に侵入するのを完全に抑制することが出来、電気的接触不良や電極間ショートを防ぐことが出来る水晶振動子式膜厚計の提供。
加湿器登録2025・請求項5項
ヒーター部分にスケールが付き、スケールが固着する加湿皿において、スケールを付きにくくし、スケールが付いた場合のヒーターの清掃も簡単に出来る加熱蒸発式加湿器
水晶発振式膜厚計及びこれを応用した成膜装置登録2019・請求項2項
原子層堆積装置などに用いる、成膜中の膜厚をリアルタイムで計測可能な水晶発振式膜厚計において、装置に使用する原料ガス、反応ガス、パージガスの供給が、瞬間的なバルブの開閉により行われるために、成膜室内に設置してある水晶発振式膜厚計のセンサー内部にまで成膜用ガスが回り込み、水晶振動子の電極間がショートするという問題があった。
サンプル保持機構登録2012・請求項7項
本発明の目的は、基板サンプルをサンプル保持機構に装着したままの状態で、例えば、２枚の基板サンプルの貼合せ接合のための圧着操作に移行しても、サンプル保持機構の存在がなんら障害にならないサンプル保持機構を提供する
気体センサとこれを用いた気体センシング装置登録2009・請求項5項
真空計に使用できる気体センサとこれを用いた真空計測装置
