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法人向け(製造業)
業種・対象顧客は公開情報をもとに AI が推定したものです。持株会社など グループ経営の会社では、主要な事業会社の業種を表示します。実態と 異なる場合は お問い合わせください。
JPX (日本取引所グループ) 月次データおよび EDINET 提出者情報より。
筑波精工株式会社は、静電吸着システム(静電チャック)の開発、製造、販売を主軸とする企業です。同社は、東京大学樋口研究室の研究成果を基盤とした独自の静電チャック技術を強みとし、国際特許も保有しています。主要製品として、給電ユニットから分離しても長時間吸着力を維持できるコードレス型静電チャックシステム「Supporter」を提供しており、これは半導体ウエハの薄化に伴う反りやクラックの発生といった製造上の課題を解決し、極薄半導体(IGBT、MOSFETなど)の製造を可能にすることで、エネルギーロスが少ない高性能デバイスの実現に貢献しています。また、生産設備向けの静電チャックシステム「ESCステージ」は、薄く脆いディスプレイ向けガラスやフィルム、金属箔、多孔質素材といった加工難易度の高いワークの安定した保持・加工を可能にし、製造現場の生産性向上に寄与しています。さらに、吸着部と電源・バッテリーを一体化した「コードレスホルダー」、薄物ワーク専用の「ハンディタイプ(ソフトパーム)」、積層された紙から1枚だけを吸着する「静電ベルト」、真空用途向け「ウエハーハンド」など、多様な応用製品を展開しています。 同社の静電チャックは、面吸着によりワークに局所的なストレスを与えず、吸着痕やしわの発生を防ぐことが特徴です。真空、加熱(200℃以下)、UV、低湿度、マイナス温度といった特殊環境下でも安定した動作を実現し、穴だらけのワークや多孔質材、多サイズ・多品種のワークにも対応可能です。これにより、半導体、次世代ディスプレイ、5G通信/IoT関連デバイスの製造現場における、薄型・脆性材料のハンドリングや反り矯正といった高度なニーズに応えています。同社はファブライト戦略を採用し、周辺装置メーカーとの協業を通じて安定供給体制を構築。2009年には経済産業省の「元気なモノ作り中小企業300社」に選定され、2018年にはTOKYO PRO Marketに上場するなど、その技術力と事業実績は高く評価されています。大中華区に営業窓口を設けるなど、グローバルな事業展開も推進しており、顧客の課題解決に貢献するパートナーとして、半導体産業に変革をもたらすことを目指しています。
2026年4月30日 時点。この概要は AI を利用して公開情報から抽出しています。事実と異なる箇所がある場合は お問い合わせください。
従業員数(被保険者)
22人 · 2026年7月
32期分(2023/12〜2026/07)
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日本電子材料株式会社上場
半導体戦争 : 世界最重要テクノロジーをめぐる国家間の攻防
Miller,Chris,1987- 千葉,敏生
半導体覇権を巡る国際情勢
筑波精工株式会社は特許58件・商標2件を保有しています。商標は機械・エンジン(第7類)、特許は半導体などの分野が中心です。
特許
58件
登録 15
商標
2件
登録 2
産業分野: 電気工学(42)・機械工学(38)・化学(5)・計測機器(4)
Supporter
機械・エンジン · 登録2022
HPTS
機械・エンジン · 登録2003
静電吸着ツール及び対象物表面加工方法登録2026・請求項5項
ウェット環境において薄物対象物の吸着を長時間にわたって維持し続けること。
吸着保持装置及び対象物表面加工方法登録2024・請求項8項
薄物対象物を吸着力発生部材に吸着させる際、薄物対象物の外周部を吸着力によって挟持することで、薄物対象物の吸着状態における平面度の向上を達成すること。
積層対象物の繰出装置と積層対象物の繰出方法登録2013・請求項10項
広範囲な対象物の選択自由度を持ちながらも、積層対象物を表面から1枚ずつ繰り出す安定した分離繰り出し機能を確保することで、繰り出し速度の高速化を図ることができる積層対象物の繰出装置
静電型補強装置登録2012・請求項6項
接着剤による汚染の心配がなく、かつ、リサイクル等の経費発生が少ないシリコンウエハ等の薄板材料の補強材
静電保持装置及びそれを用いた真空環境装置並びにアライメント装置又は貼り合わせ装置登録2011・請求項8項
電極モジュールの数を増大させた場合にも交換が容易に行える静電保持装置及びそれを用いた真空環境装置並びにアライメント装置又は貼り合わせ装置